河北大学王蜜获国家专利权
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龙图腾网获悉河北大学申请的专利一种基于超声时域信号的薄膜厚度测量方法、装置及设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119124056B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411248478.6,技术领域涉及:G01B17/02;该发明授权一种基于超声时域信号的薄膜厚度测量方法、装置及设备是由王蜜;刘杰贵;方立德设计研发完成,并于2024-09-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于超声时域信号的薄膜厚度测量方法、装置及设备在说明书摘要公布了:本发明公开一种基于超声时域信号的薄膜厚度测量方法、装置及设备,涉及液膜厚度超声测量技术领域。所述方法包括:对获取的固体‑液体‑空气三层介质中间层薄膜回波信号进行插值,并记录阈值电压和插值后的固体‑液体回波信号的相交位置;以插值后的固体‑液体回波信号为基准,对插值后的固体‑液体‑空气回波信号进行移动,使两个回波信号对齐;将插值后的固体‑液体回波信号与对齐后的固体‑液体‑空气回波信号进行相减,得到液体‑空气回波信号;将插值后的固体‑液体回波信号和液体‑空气回波信号进行互相关运算,确定薄膜厚度。本发明能够解决基准信号和回波信号难以同步的问题,实现工业中极薄液膜厚度的测量。
本发明授权一种基于超声时域信号的薄膜厚度测量方法、装置及设备在权利要求书中公布了:1.一种基于超声时域信号的薄膜厚度测量方法,其特征在于,包括: 利用搭建的实验装置获取薄膜回波信号;所述薄膜回波信号包括固体-液体回波信号以及固体-液体-空气回波信号;所述实验装置包括依次连接的固体介质、超声换能器、收发电路、数据采集模块和计算机;所述固体介质上还附着有液体介质,且液体介质外还有空气介质; 对所述薄膜回波信号进行插值,并将插值后的薄膜回波信号与预设的阈值电压进行对比,记录阈值电压和插值后的固体-液体回波信号的相交位置M; 以插值后的固体-液体回波信号为基准,根据所述相交位置对插值后的固体-液体-空气回波信号进行移动,计算移动完成后两个回波信号的相差数据点,并根据所述相差数据点将两个回波信号进行对齐;所述将两个回波信号进行对齐的处理过程具体为: 以插值后的固体-液体回波信号R 1n为基准,将插值后的固体-液体-空气回波信号E 1n向前和向后分别移动10x个数据点,每移动一个数据点时将R 1n和E 1n的前M数据序列进行相减取绝对值并求和,存储在sum数组中,移动完成之后sum数组中存有20x+1个数值;判断sum数组中最小数值对应的位置,得到R 1n和E 1n相差的数据点I,并将E 1n再次移动I个数据点与R 1n对齐,将对齐后的E 1n记为E 2n; 将插值后的固体-液体回波信号与对齐后的固体-液体-空气回波信号进行相减,得到液体-空气回波信号; 将插值后的固体-液体回波信号和液体-空气回波信号进行互相关运算,确定薄膜厚度。
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