买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉爱利彼半导体设备(上海)有限公司申请的专利一种半导体加热盘表面形变检测装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119779184B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510263914.5，技术领域涉及：G01B11/16；该发明授权一种半导体加热盘表面形变检测装置及方法是由郭高朋;汤进昌设计研发完成，并于2025-03-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体加热盘表面形变检测装置及方法在说明书摘要公布了：本发明涉及表面形变检测技术领域，公开了一种半导体加热盘表面形变检测装置及方法。本发明在移动驱动机构驱动下，承载平台带动待检测的半导体加热盘在检测槽的下方移动，在承载平台的移动过程中，遮蔽机构能够遮蔽移动驱动机构，以及固定框架、安装平台和遮蔽挡板共同的遮蔽作用下，能够保证移动驱动机构与外界环境的隔离，而能够有效的避免外界的灰尘等杂质进入移动驱动机构的活动空间，而能够有效保证移动驱动机构驱动承载平台移动的精确性，在半导体加热盘移动的过程中，各个探针检测机构和显微检测机构遍历半导体加热盘的待检测平面，共同对半导体加热盘的待检测平面进行形变检测，保证形变检测的精确程度。

本发明授权一种半导体加热盘表面形变检测装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体加热盘表面形变检测装置，包括承载支座和固定框架，所述固定框架固定在所述承载支座顶端，其特征在于：所述固定框架顶端设置有安装平台，所述固定框架内部并且位于所述安装平台下方设置有承载平台； 所述安装平台表面一侧开设有检测槽，所述固定框架顶端并且位于所述安装平台靠近所述检测槽一侧设置有遮蔽挡板，所述承载平台底部设置有移动驱动机构，所述移动驱动机构能够驱动所述承载平台在所述固定框架、所述安装平台和所述遮蔽挡板围成的空间内部移动； 所述承载平台外侧还设置有遮蔽机构，在所述承载平台的移动过程中，所述遮蔽机构能够遮蔽所述移动驱动机构； 所述安装平台上表面并且位于所述检测槽外侧设置有若干个探针检测机构，所述安装平台上表面并且远离所述检测槽的一侧设置有显微检测机构； 所述承载平台内部能够承载半导体加热盘，在所述移动驱动机构的驱动下，所述承载平台携带半导体加热盘移动，各个所述探针检测机构和所述显微检测机构遍历半导体加热盘的待检测平面，共同对半导体加热盘的待检测平面进行形变检测； 所述承载平台包括承载壳体，所述承载壳体顶端设置有端部承载凹槽、基体承载圆槽和外部支撑套环，所述外部支撑套环顶端并且位于所述基体承载圆槽外侧设置有若干个基体定位单元，所述基体承载圆槽内部底端设置有支撑沙袋； 半导体加热盘的基体能够在所述支撑沙袋的表面滑动，各个所述基体定位单元能够配合驱动半导体加热盘的基体轴线与所述基体承载圆槽的轴线之间共线； 各个所述基体定位单元能够配合将不同厚度的半导体加热盘的待检测平面压制在同一测量平面，并且在各个所述基体定位单元共同压制半导体加热盘时所述支撑沙袋能够产生形变契合半导体加热盘的底端形状。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人爱利彼半导体设备(上海)有限公司，其通讯地址为：200120 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区两港大道6288号1幢1层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。