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龙图腾网获悉上海中科飞测半导体科技有限公司申请的专利一种测量系统、测量方法以及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119879755B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510387494.1，技术领域涉及：G01B11/06；该发明授权一种测量系统、测量方法以及存储介质是由陈鲁;马砚忠;卢旭;孙晶露;杨长英;王南朔设计研发完成，并于2025-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种测量系统、测量方法以及存储介质在说明书摘要公布了：本申请提供一种测量系统、测量方法以及存储介质，光源模块发射光线经过起偏器后照射待测样品，聚焦过程中，待测样品反射的光线经过检偏器后至分光镜，分光镜将光线分为第一光线和第二光线，第一光线入射至第一探测元件，第二光线被第一反射镜反射至第二探测元件，对第一探测元件的第一探测结果和第二探测元件的第二探测结果进行差分计算得到光源模块发射的光线的聚焦位置，第一光线和第二光线都不入射至光学检测单元，测量过程中，待测样品反射的光线入射至光学检测单元，实现聚焦过程和测量过程的分离，避免利用分光镜聚焦对测量过程造成影响，实现高效率且高精度的聚焦。

本发明授权一种测量系统、测量方法以及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种测量系统，其特征在于，包括：光源模块、聚焦组件、测量组件和控制装置；所述聚焦组件包括分光镜、第一反射镜和差分探测器，所述差分探测器包括第一探测元件和第二探测元件；所述测量组件包括起偏器、检偏器和光学检测单元；所述测量系统还包括移动平台，分光镜设置在移动平台上，所述移动平台用于在聚焦过程中带动分光镜移动至待测样品反射光线的光路中，在测量过程中利用移动平台将分光镜移出待测样品反射光线的光路； 所述光源模块用于发射光线，所述光线经过所述起偏器后照射待测样品； 所述分光镜位于所述待测样品反射光线的光路中时，用于将所述待测样品反射的经过所述检偏器的光线分为第一光线和第二光线； 所述第一光线入射至所述第一探测元件；所述第二光线被所述第一反射镜反射至所述第二探测元件；所述控制装置用于根据所述第一探测元件的第一探测结果和所述第二探测元件的第二探测结果计算得到所述光源模块发射的光线的聚焦位置； 所述分光镜偏离所述待测样品反射的光线时，所述待测样品反射的光线入射至光学检测单元。

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