深圳中科飞测科技股份有限公司马砚忠获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利一种晶圆面型测量设备及测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119958460B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510450943.2，技术领域涉及：G01B11/24；该发明授权一种晶圆面型测量设备及测量方法是由马砚忠;袁明波;陈鲁设计研发完成，并于2025-04-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆面型测量设备及测量方法在说明书摘要公布了：本申请提供的晶圆面型测量设备及测量方法，在所述第一探测器表面覆盖第一保护玻璃，经所述第一保护玻璃反射的部分所述第一干涉光束经所述第一分光镜后成像到所述第三探测器上，监控所述第三探测器的成像信息并调整所述待测件的面型测量过程，有效地利用了第一保护玻璃反射的部分光，通过对该部分光进行成像并根据成像情况对整个面型测量过程进行调整，保证了干涉测量的稳定性和可靠性。
本发明授权一种晶圆面型测量设备及测量方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆面型测量设备，其特征在于，包括： 照明模块，所述照明模块用于输出第一偏振光； 第一斐索干涉仪，所述第一斐索干涉仪包括第一PBS分光棱镜、第一四分之一波片、第一干涉模块和第一探测器，所述第一探测器表面覆盖有第一保护玻璃，所述第一偏振光依次经所述第一PBS分光棱镜及所述第一干涉模块入射至待测件上表面，经所述待测件上表面反射的光束经所述第一干涉模块形成的第一干涉光束，再依次经所述第一四分之一波片、所述第一PBS分光棱镜及所述第一保护玻璃成像到所述第一探测器上； 所述第一PBS分光棱镜和所述第一探测器之间还设置有第一分光镜，经所述第一保护玻璃反射的部分所述第一干涉光束经所述第一分光镜后成像到第三探测器上，监控所述第三探测器的成像信息并调整所述待测件的面型测量过程； 所述成像信息包括图像位置、干涉面型及图像对比度，所述晶圆面型测量设备记录有标准的图像位置、干涉面型及图像对比度。
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