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龙图腾网获悉深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利寻焦方法、半导体的检测方法、检测设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119996830B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510461202.4，技术领域涉及：H04N23/67；该发明授权寻焦方法、半导体的检测方法、检测设备及存储介质是由宋博文;陶陶;黄有为;陈鲁设计研发完成，并于2025-04-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本寻焦方法、半导体的检测方法、检测设备及存储介质在说明书摘要公布了：本申请公开了一种寻焦方法、半导体的检测方法、检测设备及存储介质，属于半导体检测技术领域。所述方法包括：控制承载有参考物与待测物的载物台与物镜在垂直方向相对运动，使得载物台上所承载的参考物与物镜在垂直方向上依次处于多个不同的高度距离；其中，该载物台具有第一承载区域和第二承载区域。在每个高度距离时，控制对该载物台上的参考物进行拍摄，得到参考物在每个高度距离时的参考图像。基于该参考物在多个不同的高度距离时的参考图像，确定目标高度距离，目标高度距离用于确定对待测物进行扫描时载物台或待测物与物镜之间初始的高度距离。本申请通过引入参考物，能够提高确定出的目标高度距离的准确性。

本发明授权寻焦方法、半导体的检测方法、检测设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种寻焦方法，其特征在于，所述方法包括： 控制承载有参考物与待测物的载物台与物镜在垂直方向相对运动，使得所述载物台上所承载的参考物与所述物镜在垂直方向上依次处于多个不同的高度距离；其中，所述载物台具有第一承载区域和第二承载区域，所述第一承载区域用于承载所述待测物，所述第二承载区域用于承载所述参考物； 在每个高度距离时，控制对所述载物台上的所述参考物进行拍摄，得到所述参考物在每个高度距离时的参考图像； 对于多个所述参考图像中的每个参考图像：确定所述参考图像中的多个关注区域；确定多个所述关注区域分别对应的区域能量集中值；基于多个所述区域能量集中值，确定所述参考图像对应的图像能量集中值；根据多个所述图像能量集中值、多个所述参考图像分别对应的高度距离，得到参考曲线图；将所述参考曲线图中最大的所述图像能量集中值对应的高度距离确定为目标高度距离，所述目标高度距离用于确定对所述待测物进行扫描时所述载物台或所述待测物与所述物镜之间初始的高度距离。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳中科飞测科技股份有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市龙华区观澜街道新澜社区观光路1301-14号101、102；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。