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龙图腾网获悉苏州搏技光电技术有限公司申请的专利一种半导体生产用晶圆检测装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120164805B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510624212.5，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权一种半导体生产用晶圆检测装置是由陈恕华;胡晨光;杨振云;袁大翔;李泓毅设计研发完成，并于2025-05-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体生产用晶圆检测装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种半导体生产用晶圆检测装置，涉及晶圆生产检测技术领域，包括用于转移半成品晶圆的传递组件，传递组件带动晶圆转移，当出现瑕疵品时自动对晶圆进行分类，传递组件侧边设置有正面检测组件，正面检测组件通过光学系统对晶圆进行检测，且正面检测组件自动对光学系统进行清理，正面检测组件及时检测到晶圆的缺陷，避免带有缺陷的晶圆继续进行加工，造成更大的损失，正面检测组件下端设置有对晶圆背面金属化进行分析的背部检测组件，背部检测组件上设置有检测头能够进行多角度的调节，本发明同时对晶圆上下两面进行检测，同时提高对晶圆的检测精度。

本发明授权一种半导体生产用晶圆检测装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体生产用晶圆检测装置，包括传递组件（1），其特征在于：所述的传递组件（1）包括可拆卸的回收架（104）与放置架（105），回收架（104）用于放置存在瑕疵的晶圆（206），放置架（105）用于放置加工中的晶圆（206），外壳（101）上设置有对晶圆（206）进行转移的拾取机构，所述的传递组件（1）内设置有正面检测组件（2），所述的正面检测组件（2）包括摄像头一（213）与摄像头二（214）以及滑动安装在外壳（101）上的支撑板（203）、锁定架（207）、锁定板（211）与清理架一（212），所述的支撑板（203）带动晶圆（206）移动，支撑板（203）下端设置有开口，所述的外壳（101）上还转动设置有摆动块（208），摆动块（208）两端均滑动设置有一组限位块二（210），一组限位块二（210）与锁定板（211）转动连接，另一组限位块二（210）与锁定架（207）转动连接，所述的锁定架（207）内滑动设置有两组限位板（218），所述的清理架一（212）与锁定板（211）贴合，所述的正面检测组件（2）下端设置有背部检测组件（3），所述的背部检测组件（3）包括滑动安装在外壳（101）上的安装盘（301），所述的安装盘（301）上设置有调节机构与检测头（307）； 所述的清理架一（212）上滑动设置有清理环（216）与清理板（217），所述的清理环（216）内滑动设置有擦拭盘（219），所述的清理环（216）侧边滑动设置有吹风架（220）； 所述的清理板（217）上转动设置有安装块（221），所述的安装块（221）上设置有多组吹风头（222）； 所述的调节机构包括滑动安装在安装盘（301）上的支撑盘（302），所述的支撑盘（302）上滑动设置有调节盘二（303），所述的支撑盘（302）上转动设置有安装柱（305），所述的安装柱（305）内转动设置有限位球（306），所述的调节盘二（303）内部设置有限位槽（304），所述的限位球（306）在限位槽（304）内滑动，所述的限位球（306）另一端设置有检测头（307）。

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