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龙图腾网获悉晨硕国际有限公司申请的专利离子布植机用的供气系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111863657B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201910383725.6，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权离子布植机用的供气系统是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2019-05-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本离子布植机用的供气系统在说明书摘要公布了：本发明为一种离子布植机用的供气系统，该供气系统包含一金属室、一电性绝缘盒、一硬质绝缘管件及一可挠性管件；该金属室的内部设置有一第一及第二管路，其底部通过多个电性绝缘件固定在地板上；该电性绝缘盒悬挂在该金属室的一外侧，该硬质绝缘管件设置在该电性绝缘盒内，其一端连接自该金属室外壁穿出的该第二管路，另一端则连接至该穿入至该电性绝缘盒的该可挠性管件。因电性绝缘盒悬挂在该金属室一侧，为避免其中的硬质绝缘管件内的气体受金属室连接的高电压影响而产生电解离，此掺杂气体需为高压气体。且该硬质绝缘管件连接可挠性管件可吸收外界震动能量。

本发明授权离子布植机用的供气系统在权利要求书中公布了：1.一种离子布植机用的供气系统，其特征在于，包括： 一金属室，电性连接一高电压源的高电位，所述金属室的内部设置有储存有掺杂气体的气瓶、连接到所述气瓶的一第一管路及一第二管路，所述第二管路的一端通过第一气阀与所述第一管路连通，另一端则穿出所述金属室一外侧； 多个电性绝缘件，固定于所述金属室的底部，且电性连接一高电压源的低电位； 一电性绝缘盒，悬挂在所述金属室的所述外侧，所述电性绝缘盒直接靠在所述金属室的一侧壁上； 一硬质绝缘管件，直立地设置在所述电性绝缘盒内，所述硬质绝缘管件具有一第一端及一第二端，所述第一端连接自所述金属室的外侧穿出的所述第二管路的一端；以及 一可挠性管件，其一端穿入所述电性绝缘盒，并与所述硬质绝缘管件的第二端连接，所述可挠性管件的另一端用以连接至一大量掺杂气体储放室；其中： 所述电性绝缘盒的长度与其盒内气体压力乘积大于所述硬质绝缘管件的第一端与所述第二管路连接处及所述硬质绝缘管件的第二端与所述可挠性管件连接处之间的最大解离电压差； 所述硬质绝缘管件长度与其输送掺杂气体的气体压力的乘积大于所述硬质绝缘管件的第一端与所述第二管路连接处及所述硬质绝缘管件的第二端与所述可挠性管件连接处之间的最大解离电压差， 其中所述第一管路传送来自所述气瓶或所述大量掺杂气体储放室的所述掺杂气体。

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