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龙图腾网获悉株式会社 T-ROBOTICS申请的专利用于在真空室内传送基板的基板传送机器人获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115483125B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210396091.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权用于在真空室内传送基板的基板传送机器人是由李寿钟;金明辰;李昌成;白承煐;池昌弦;咸相辉;许文纪;朴宰炫;李太韩设计研发完成，并于2022-04-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于在真空室内传送基板的基板传送机器人在说明书摘要公布了：本发明涉及一种用于在真空室内传送基板的基板传送机器人，包括：传送臂平台，其形成有第1结合孔、第2结合孔及第3结合孔，在前方区域固定结合有包括用于连杆结合的第1叶片和第2叶片的连杆连接件，引入至所述第1下部空间的所述底部支撑体的所述支撑轴固定结合于所述第1卡止件；第1传送臂部，其包括第1_1传送连杆臂、第1_2传送连杆臂、第1共用连杆臂、第1_1辅助连杆臂、第1_2辅助连杆臂、第1_3辅助连杆臂及第1末端执行器；以及第2传送臂部，其包括第2_1传送连杆臂、第2_2传送连杆臂、第2共用连杆臂、第2_1辅助连杆臂、第2_2辅助连杆臂、第2_3辅助连杆臂及第2末端执行器。

本发明授权用于在真空室内传送基板的基板传送机器人在权利要求书中公布了：1.一种用于在真空室内传送基板的基板传送机器人，其特征在于包括： 传送臂平台，其形成有位于第1中央区域的第1结合孔、位于第1一前端区域的第2结合孔以及位于第1另一前端区域的第3结合孔，其中，所述第1结合孔被第1卡止件分为第1上部空间和第1下部空间，所述第1上部空间被第1盖子密封，所述第1卡止件形成有第1通孔，所述第1通孔对应于在底部支撑体的传送机器人结合部形成的支撑轴的中空；所述第2结合孔被第2卡止件分为第2上部空间和第2下部空间，所述第2下部空间被第2盖子密封，所述第2卡止件形成有第2通孔；所述第3结合孔被第3卡止件分为第3上部空间和第3下部空间，所述第3下部空间被第3盖子密封，所述第3卡止件形成有第3通孔，在前方区域固定结合有包括用于连杆结合的第1叶片和第2叶片的连杆连接件，所述前方是所述基板传送机器人为了将所述基板传送至与所述真空室结合的工艺室而配置的状态下所述工艺室所处的方向，引入至所述第1下部空间的所述底部支撑体的所述支撑轴固定结合于所述第1卡止件； 第1传送臂部，其包括第1_1传送连杆臂、第1_2传送连杆臂、第1共用连杆臂、第1_1辅助连杆臂、第1_2辅助连杆臂、第1_3辅助连杆臂以及第1末端执行器，在所述第1_1传送连杆臂的密封的内部空间中设有第1传送驱动电机和第1减速机，所述第1减速机与所述第1传送驱动电机联动从而将转速降至12，在所述第1_1传送连杆臂的第1_1一前端区域密封地设置有第1_1驱动轴以及与所述第1_1驱动轴联动的第1_1输出轴，所述第1_1驱动轴与所述第1减速机联动且形成有中空，在所述第1_1传送连杆臂的第1_1另一前端区域密封地设置有第1_2驱动轴以及与所述第1_2驱动轴联动的第1_2输出轴，所述第1_2驱动轴与所述第1传送驱动电机联动且形成有中空，所述第1_1输出轴引入至所述传送臂平台的所述第2上部空间中并固定结合于与所述第2卡止件固定结合的第1连接件；所述第1_2传送连杆臂的第1_2一前端区域通过第1固定结合轴固定结合于所述第1_1传送连杆臂的所述第1_2输出轴；所述第1共用连杆臂的第2中央区域可旋转地结合于所述第1固定结合轴；所述第1_1辅助连杆臂平行于所述第1_1传送连杆臂，所述第1_1辅助连杆臂的第1_4一前端区域可旋转地结合于所述传送臂平台的所述连杆连接件的所述第1叶片，所述第1_1辅助连杆臂的第1_4另一前端区域可旋转地结合于所述第1共用连杆臂的第1_3一前端区域；所述第1_2辅助连杆臂平行于所述第1_2传送连杆臂，所述第1_2辅助连杆臂的第1_5一前端区域可旋转地结合于所述第1共用连杆臂的第1_3另一前端区域；所述第1_3辅助连杆臂平行于所述第1共用连杆臂，所述第1_3辅助连杆臂的第1_6一前端区域可旋转地结合于所述第1_2辅助连杆臂的第1_5另一前端区域，所述第1_3辅助连杆臂的第1_6另一前端区域可旋转地结合于所述第1_2传送连杆臂的第1_2另一前端区域；所述第1末端执行器固定于所述第1_3辅助连杆臂的所述第1_6另一前端区域支撑所述基板；以及 第2传送臂部，其包括第2_1传送连杆臂、第2_2传送连杆臂、第2共用连杆臂、第2_1辅助连杆臂、第2_2辅助连杆臂、第2_3辅助连杆臂以及第2末端执行器，在所述第2_1传送连杆臂的密封的内部空间中设有第2传送驱动电机和第2减速机，所述第2减速机与所述第2传送驱动电机联动从而将转速降至12，在所述第2_1传送连杆臂的第2_1一前端区域密封地设置有第2_1驱动轴以及与所述第2_1驱动轴联动的第2_1输出轴，所述第2_1驱动轴与所述第2减速机联动且形成有中空，在所述第2_1传送连杆臂的第2_1另一前端区域密封地设置有第2_2驱动轴以及与所述第2_2驱动轴联动的第2_2输出轴，所述第2_2驱动轴与所述第2传送驱动电机联动且形成有中空，所述第2_1输出轴引入至所述传送臂平台的所述第3上部空间中且固定结合于与所述第3卡止件固定结合的第2连接件；所述第2_2传送连杆臂的第2_2一前端区域通过第2固定结合轴固定结合于所述第2_1传送连杆臂的所述第2_2输出轴；所述第2共用连杆臂的第3中央区域可旋转地结合于所述第2固定结合轴；所述第2_1辅助连杆臂平行于所述第2_1传送连杆臂，所述第2_1辅助连杆臂的第2_4一前端区域可旋转地结合于所述传送臂平台的所述连杆连接件的所述第2叶片，所述第2_1辅助连杆臂的第2_4另一前端区域可旋转地结合于所述第2共用连杆臂的第2_3一前端区域；所述第2_2辅助连杆臂平行于所述第2_2传送连杆臂，所述第2_2辅助连杆臂的第2_5一前端区域可旋转地结合于所述第2共用连杆臂的第2_3另一前端区域；所述第2_3辅助连杆臂平行于所述第2共用连杆臂，所述第2_3辅助连杆臂的第2_6一前端区域可旋转地结合于所述第2_2辅助连杆臂的第2_5另一前端区域，所述第2_3辅助连杆臂的第2_6另一前端区域可旋转地结合于所述第2_2传送连杆臂的第2_2另一前端区域；所述第2末端执行器固定于所述第2_3辅助连杆臂的所述第2_6另一前端区域支撑所述基板。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社 T-ROBOTICS，其通讯地址为：韩国京畿道乌山市；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。