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浙江大学白剑获国家专利权

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龙图腾网获悉浙江大学申请的专利一种结合倾斜照明的高分辨率波前检测方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115014546B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210668716.3,技术领域涉及:G01J9/00;该发明授权一种结合倾斜照明的高分辨率波前检测方法是由白剑;赵磊;李月佳设计研发完成,并于2022-06-14向国家知识产权局提交的专利申请。

一种结合倾斜照明的高分辨率波前检测方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种结合倾斜照明的高分辨率波前检测方法,采用波前检测装置,波前检测装置包括沿光路出射方向设置的LED板、准直透镜、待测平板、会聚透镜和图像传感器,图像传感器固定在精密导轨上,且图像传感器位于会聚透镜的离焦位置处。本发明利用不同角度倾斜照明待测样品,依次采集衍射光斑,利用相位恢复算法实现高分辨率高精度的光频谱面的拼接,并进一步利用带负反馈调节的相位恢复算法实现高分辨率的波前重建。本发明提出的方法可实现高分辨率的波前高精度高鲁棒性的精确重建。

本发明授权一种结合倾斜照明的高分辨率波前检测方法在权利要求书中公布了:1.一种结合倾斜照明的高分辨率波前检测方法,其特征在于,采用波前检测装置,所述的波前检测装置包括沿光路出射方向设置的LED板、准直透镜、待测平板、会聚透镜和图像传感器,所述的图像传感器固定在精密导轨上,且图像传感器位于会聚透镜的离焦位置处;该方法包括如下步骤: S1:依次开启LED板上LED灯,在某一离焦距离采集n幅含有待测平板波前误差的离焦衍射光斑; S2:改变离焦位置,重复S1步骤; S3:对步骤S1和S2采集到的离焦衍射光斑,根据强度位置以及强度曝光时间进行衍射光斑合成,组成M×M离焦衍射光斑矩阵I1和I2,M表示采集的离焦衍射光斑矩阵的长度; S4:分别设置会聚透镜的焦距s、口径D、每一幅离焦衍射光斑的离焦位置zj,T为迭代总数,设置测量面初始的复振幅gx,y为全一矩阵; S5:将测量面初始的复振幅gx,y衍射计算到第一个离焦面,得到第1个离焦面的衍射光场G1u,v; S6:用第一个离焦衍射光斑矩阵I1替换计算得到的衍射光场G1u,v的振幅,并逆衍射回测量面,得到更新后的测量面复振幅gx,y; S7:将更新的测量面复振幅gx,y衍射计算到第二个离焦面,得到第2个离焦面的衍射光场G2u,v; S8:用第二个离焦衍射光斑矩阵I2替换计算得到的衍射光场G2u,v的振幅,并逆衍射回测量面,得到再次更新后的测量面复振幅gx,y; S9:迭代次数t加1,如果t≤T,重复步骤S5~S8,否则,输出相位θx,y=arggx,y。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人浙江大学,其通讯地址为:310058 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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