武汉大学瓦西里·帕里诺维奇获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉大学申请的专利金属氮化物薄膜超声波温度传感器及测温方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116026489B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310142659.X，技术领域涉及：G01K11/22；该发明授权金属氮化物薄膜超声波温度传感器及测温方法是由瓦西里·帕里诺维奇;许畅;杨兵;曾晓梅;张翔宇;姜杨慧;王晨阳;张俊;黄家辉设计研发完成，并于2023-02-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本金属氮化物薄膜超声波温度传感器及测温方法在说明书摘要公布了：本申请公开了金属氮化物薄膜超声波温度传感器及测温方法。该温度传感器的材料为金属氮化物的压电涂层，通过涂层表面所激发的超声波的变化包括压电信号强度、声时延迟、声波频率大小表征温度的变化，以实时反馈出待测温度。本技术方案提供了宽温域范围内稳定运行的金属氮化物薄膜超声波温度传感器，实时监测温度，实现温度变化在线预警，防止因为高温蠕变、结构断裂而造成的严重后果。
本发明授权金属氮化物薄膜超声波温度传感器及测温方法在权利要求书中公布了：1.一种金属氮化物薄膜超声波温度传感器，其特征在于，该温度传感器主体为氮化物的压电涂层，通过所激发的超声波参数的变化实时表征温度的变化，以在线反馈出待测温度； 压电涂层为金属氮化物，金属氮化物为AlN或AlScN，厚为12-20微米；压电涂层的表面覆有电极层；金属氮化物的压电涂层、电极层的制备方式为射频磁控溅射； AlN压电涂层沉积参数如下：采用Al靶，射频磁控溅射的功率为600-1000W，沉积气压为0.5-4Pa，ArO2为13-41，腔内温度为80-250℃，沉积时间为2h-10h，靶材与基底间距为2cm-7cm； AlScN压电涂层沉积参数如下：采用用Al：Sc=1:9~5:5的混合靶材，射频磁控溅射的功率为600-1000W，沉积气压为0.5-4Pa，ArO2为12-41，腔内温度为80-250℃，沉积时间为2h-10h，靶材与基底间距为2cm-7cm； 电极层为Ag或Cr，厚15-25微米，沉积参数如下：采用高纯Ag靶或Cr靶，射频磁控溅射功率为500-1000W，沉积气压为0.5-3Pa，纯氩气，腔内温度为80-250℃，沉积时间为2h-10h，靶材与基底间距为2cm-7cm。
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