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龙图腾网获悉安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司申请的专利一种晶圆CMP异常检测系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116372809B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310480464.6，技术领域涉及：B24B49/10；该发明授权一种晶圆CMP异常检测系统是由俞辉;韩五静;王思远设计研发完成，并于2023-04-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆CMP异常检测系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆CMP异常检测系统，涉及到晶圆加工技术领域，包括电流检测单元、超载触发单元和停机报警单元；电流检测单元：用于检测抛光头驱动电机电流变化以判断其是否超载；超载触发单元：当所述电流检测单元检测到抛光头驱动电机超载时，超载触发单元被启动，触发所述停机报警单元停机报警。本系统通过电流检测单元检测抛光头电机负载（电流与负载呈正比关系）情况，当检测到其超载时，超载触发单元被启动控制抛光设备停止抛光操作并控制报警单元进行报警，由于本检测系统是监控抛光头驱动电机负载情况，因此不会出现碎片小，飞片位置不在Sensor感应区导致无法检测的情况，也不会出现sensor沾水误报警的异常，提高其检测精度及降低其报警错误率。

本发明授权一种晶圆CMP异常检测系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆CMP异常检测系统，其特征在于：包括电流检测单元、超载触发单元和停机报警单元； 电流检测单元：用于检测抛光头驱动电机电流变化以判断其是否超载； 超载触发单元：当所述电流检测单元检测到抛光头驱动电机超载时，超载触发单元被启动，触发所述停机报警单元； 停机报警单元：用于控制抛光设备停止抛光操作并控制报警单元进行报警； 所述电流检测单元包括内部设置有旋转指针（21）的指针式电流表（2）； 所述超载触发单元包括通过绝缘块（216）安装在所述指针式电流表（2）内腔的导电柱（22）和固定在所述旋转指针（21）上端的绝缘槽（27），所述绝缘槽（27）的侧端固定有第一弹性导电件（210），所述绝缘槽（27）上安装有导电接头（213），还包括触发组件（3）和外接电源，所述触发组件（3）包括由顶板、底板和若干立柱（32）组成的安装架（31），所述顶板和底板分别固定于若干个所述立柱（32）的上下端，所述立柱（32）上滑动设置有下压板（37），所述下压板（37）上固定有磁铁（34），所述顶板的下端安装有电磁铁（33），且所述电磁铁（33）通电时下端的磁极与所述磁铁（34）的磁极相同，所述第一弹性导电件（210）、导电接头（213）、电磁铁（33）、外接电源、导电柱（22）依次电性连接； 所述停机报警单元包括位于所述下压板（37）下方的停机按压开关（36）和报警按压开关（35），所述停机按压开关（36）与抛光设备电性连接，所述报警按压开关（35）与报警器（4）电性连接。

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