上海邦妙真空科技有限公司包中敢获国家专利权
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龙图腾网获悉上海邦妙真空科技有限公司申请的专利一种防止微型电容器基膜烫伤的电子枪装置及防烫伤方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116904935B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310707279.6,技术领域涉及:C23C14/30;该发明授权一种防止微型电容器基膜烫伤的电子枪装置及防烫伤方法是由包中敢设计研发完成,并于2023-06-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种防止微型电容器基膜烫伤的电子枪装置及防烫伤方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种防止微型电容器基膜烫伤的电子枪装置,包括发射腔,所述发射腔一侧安装有分子泵和发射组件,另一侧开有发射口,所述发射组件的外侧罩有保护罩,所述保护罩固定连接接口法兰,所述发射口外侧连通发射通道,所述发射通道一端固定连接发射腔,所述发射通道另一端连接聚焦通道,所述聚焦通道上套有聚焦线圈,所述聚焦线圈连接聚焦线圈冷却套一侧,所述聚焦线圈冷却套另一侧连接基座法兰,所述基座法兰连接隔板,所述聚焦通道另一端设有偏转通道,所述偏转通道连接隔板,所述偏转通道上安装有偏转线圈。本装置运用于真空镀膜机中,可对基膜进行电子束轰击,使基膜被动带电,电荷量足够且均匀,可使基膜紧密均匀的吸附在主轮毂上。
本发明授权一种防止微型电容器基膜烫伤的电子枪装置及防烫伤方法在权利要求书中公布了:1.一种防止微型电容器基膜烫伤的电子枪装置,包括发射腔,其特征在于:所述发射腔一侧开有连接口和安装口,另一侧开有发射口,所述连接口上安装有分子泵,所述安装口上安装有接口法兰,所述接口法兰螺栓连接通风法兰,所述通风法兰连接发射组件,所述发射组件的发射端位于发射腔内部,且正对发射口,所述发射组件的外侧罩有保护罩,所述保护罩固定连接接口法兰,所述发射口外侧连通发射通道,所述发射通道一端固定连接发射腔,所述发射通道另一端连接聚焦通道,所述聚焦通道上套有聚焦线圈,所述聚焦线圈连接聚焦线圈冷却套一侧,所述聚焦线圈冷却套另一侧连接基座法兰,所述基座法兰连接隔板,所述聚焦通道另一端设有偏转通道,并相互连通,所述偏转通道连接隔板,所述偏转通道上安装有偏转线圈。
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