上海盛剑半导体科技有限公司张伟明获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉上海盛剑半导体科技有限公司申请的专利一种控温系统及控温方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117766434B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311772969.6，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种控温系统及控温方法是由张伟明;姜秀鹏;张国强设计研发完成，并于2023-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种控温系统及控温方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种控温系统及控温方法，涉及半导体技术领域。该控温系统包括冷却液管路、工艺水管路及冷媒管路，冷却液管路包括冷却液回液管与冷却液供液管；冷却液回液管上依次设置有第一换热器与第二换热器，第一换热器接入工艺水管路，第二换热器接入冷媒管路，第一换热器与第二换热器均用于对冷却液进行冷却；冷却液供液管上依次设置有第三换热器与加热装置，第三换热器接入冷媒管路，并与第二换热器串联设置，第三换热器用于对冷却液进行预热。本发明提供的控温系统能够实现对冷却液的低能耗温度调控，并能够提升温度调控精度。
本发明授权一种控温系统及控温方法在权利要求书中公布了：1.一种控温系统，其特征在于，包括冷却液管路110、工艺水管路120及冷媒管路130，所述冷却液管路110包括冷却液回液管111与冷却液供液管113； 所述冷却液回液管111上依次设置有第一换热器140与第二换热器150，所述第一换热器140接入所述工艺水管路120，所述第二换热器150接入所述冷媒管路130，所述第一换热器140与所述第二换热器150均用于对冷却液进行冷却； 所述冷却液供液管113上依次设置有第三换热器170与加热装置160，所述第三换热器170接入所述冷媒管路130，并与所述第二换热器150串联设置，所述第三换热器170用于对冷却液进行预热； 所述冷媒管路130包括冷媒主管路135、压缩机131、第四换热器180及膨胀阀132，所述压缩机131、所述第四换热器180、所述膨胀阀132及所述第二换热器150依次设置于所述冷媒主管路135上，且所述第四换热器180接入所述工艺水管路120。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海盛剑半导体科技有限公司，其通讯地址为：201000 上海市嘉定区嘉定工业区叶城路1288号6幢JT2450室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号