浙江中财电子材料有限公司卢昱文获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江中财电子材料有限公司申请的专利一种氮化硅陶瓷坯体排胶工艺获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118084507B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410240271.8,技术领域涉及:C04B35/587;该发明授权一种氮化硅陶瓷坯体排胶工艺是由卢昱文;张世健;石浩设计研发完成,并于2024-03-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种氮化硅陶瓷坯体排胶工艺在说明书摘要公布了:本发明公开了一种氮化硅陶瓷坯体排胶工艺,包括1氮化硅原粉经流延成型后制成氮化硅陶瓷胚体,将氮化硅陶瓷胚体放入坩埚中,在胚体表面敷一层氮化硼粉末;2在马弗炉中分段排胶;实现了对氮化硅陶瓷胚体的排胶,减少了排胶过程中二氧化硅的生成,提高了氮化硅陶瓷基片批量化生产的质量。
本发明授权一种氮化硅陶瓷坯体排胶工艺在权利要求书中公布了:1.一种氮化硅陶瓷坯体排胶工艺,其特征在于,包括: 1氮化硅原粉经流延成型后制成氮化硅陶瓷胚体,将氮化硅陶瓷胚体放入坩埚中,在胚体表面敷一层氮化硼粉末; 2将步骤1中放有氮化硅陶瓷胚体的坩埚放入马弗炉中,进行分段排胶,具体步骤如下: a先在马弗炉压力为1~3Pa、氮气流量为200~500Lmin的气氛下,以0.4~0.6℃min的升温速率从室温升温至200℃,保温2~3小时; b在马弗炉压力为1~3Pa、氮气流量为200~500Lmin的气氛下,以0.1~0.4℃min的升温速率从200℃升温至500℃,保温2~3小时; c随后,在马弗炉压力为1~3Pa、压缩空气流量为100~400Lmin的气氛下,以0.4~0.6℃min的升温速率从500℃升温至550~600℃,保温2~6小时; d在马弗炉压力为3~6Pa、压缩空气流量为100~250Lmin的气氛下,降温至120~170℃,降温时间为16~24小时; e降温完成后,打开炉门。
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