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龙图腾网获悉上海尚容电子科技有限公司申请的专利一种小型蚀刻槽获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223092838U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420763821.X，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型一种小型蚀刻槽是由刘庆峰;程凡雄;陈培峰设计研发完成，并于2024-04-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种小型蚀刻槽在说明书摘要公布了：本实用新型涉及蚀刻槽装置的技术领域，具体公开了一种小型蚀刻槽，包括喷淋组件和多个移动组件，多个移动组件固定连接在喷淋组件上，多个移动组件之间相互平行；喷淋组件包括喷淋器、连通管和蚀刻槽，蚀刻槽的下半部分为倒圆锥形结构，蚀刻槽的倒圆锥形结构的外部可拆卸设置有加热管，蚀刻槽的底部与连通管的一端为固定连接，连通管的另一端与喷淋器为固定连接，连通管上固定设置有水泵，连通管和蚀刻槽之间通过固定件固定连接，蚀刻槽的上方固定设置有防护板，多个移动组件的两端位于防护板所开设的槽中，蚀刻槽的外侧固定设置有控制面板。本实用新型能够提升蚀刻槽内蚀刻液的使用效率，降低蚀刻时对蚀刻液体积的的需求。

本实用新型一种小型蚀刻槽在权利要求书中公布了：1.一种小型蚀刻槽，其特征在于：包括喷淋组件和多个移动组件，多个所述移动组件固定连接在所述喷淋组件上，多个所述移动组件之间相互平行； 所述喷淋组件包括喷淋器、连通管和蚀刻槽，所述蚀刻槽的下半部分为倒圆锥形结构，所述蚀刻槽的倒圆锥形结构的外部可拆卸设置有加热管，所述蚀刻槽的底部与所述连通管的一端为固定连接，所述连通管的另一端与所述喷淋器为固定连接，所述连通管上固定设置有水泵，所述连通管和所述蚀刻槽之间通过固定件固定连接，所述蚀刻槽的上方固定设置有防护板，多个所述移动组件的两端位于所述防护板所开设的槽中，所述蚀刻槽的外侧固定设置有控制面板； 所述移动组件包括底部架、两个支撑架和多个转动轮，所述底部架上开设有中心槽，两个所述支撑架分别固定连接在所述底部架的下端两侧，所述中心槽的两侧分别固定设置有多个支架，多个所述支架固定连接在所述底部架上，每两个所述支架相对应，每两个所述支架之间转动设置有一个转动轴，每个所述转动轴上套设有一个转动轮。

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