上海容道社半导体科技有限公司张宽宽获国家专利权
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龙图腾网获悉上海容道社半导体科技有限公司申请的专利一种硅片涂胶烘干装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223083196U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420973784.5，技术领域涉及：B05D3/04；该实用新型一种硅片涂胶烘干装置是由张宽宽;胡根生;赵生龙;张广东设计研发完成，并于2024-05-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片涂胶烘干装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及硅片加工技术领域，尤其涉及一种硅片涂胶烘干装置，包括干箱，其特征在于：所述烘干箱内设置有热烘腔，所述热烘腔内阵列设置有若干托块，所述托块上端可抽拉的滑动连接有托盘，所述托块间距大于托盘高度，所述托盘上阵列凹设有若干硅片槽，所述托盘设置有若干个。本实用新型在对硅片进行摆放时，将硅片放入在硅片槽内，然后再将托盘滑动到托块底部，完成对硅片的摆放，在取出时直接将托盘取出即可，在烘干的过程中可将为烘干硅片摆放在新的托盘上，再直接替换以及烘干的托盘，大幅度节省了时间，有效提升烘干效率。
本实用新型一种硅片涂胶烘干装置在权利要求书中公布了：1.一种硅片涂胶烘干装置，包括烘干箱10，其特征在于：所述烘干箱10内设置有热烘腔11，所述热烘腔11内阵列设置有若干托块12，所述托块12上端可抽拉的滑动连接有托盘20，所述托块12间距大于托盘20高度，所述托盘20上阵列凹设有若干硅片槽21，所述托盘20设置有若干个，所述热烘腔11底端设置有热风机13，所述烘干箱10上端固定连接有与热烘腔11连通的出风天窗14。
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