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上海理工大学杨雪获国家专利权

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龙图腾网获悉上海理工大学申请的专利一种静电吸盘规则表面凸台微结构的加工方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118456289B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410705620.9,技术领域涉及:B24B53/017;该发明授权一种静电吸盘规则表面凸台微结构的加工方法是由杨雪;吴家义;姜晨设计研发完成,并于2024-05-31向国家知识产权局提交的专利申请。

一种静电吸盘规则表面凸台微结构的加工方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种静电吸盘规则表面凸台微结构的加工方法,包括以下步骤:S1、通过激光加工的方法进行结构化砂轮制备;S2、对静电吸盘功能层表面进行多次离子注入形成多个改性区域;S3、通过结构化砂轮对多个改性区域进行选择性磨削去除,形成最终的陶瓷静电吸盘功能层表面凸台微结构;S4、对使用磨损的静电吸盘先进行最`低磨损高度磨削,将静电吸盘功能层表面其余凸台微结构磨削至与最低点一致的高度,再重复上述步骤S2与S3,完成对磨损凸台微结构的翻新修复。根据本发明,该方法能够解决以往加工方法导致的静电吸盘使用寿命短问题,有效提高静电吸盘使用寿命。

本发明授权一种静电吸盘规则表面凸台微结构的加工方法在权利要求书中公布了:1.一种静电吸盘规则表面凸台微结构的加工方法,其特征在于,包括以下步骤: S1、通过激光加工的方法进行结构化砂轮制备; S2、对静电吸盘功能层表面进行多次离子注入形成多个改性区域; S3、通过结构化砂轮对多个改性区域进行选择性磨削去除,形成最终的陶瓷静电吸盘功能层表面凸台微结构; S4、对使用磨损的静电吸盘先进行最低磨损高度磨削,将静电吸盘功能层表面其余凸台微结构磨削至与最低点一致的高度,再重复上述步骤S2与S3,完成对磨损凸台微结构的翻新修复。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人上海理工大学,其通讯地址为:200093 上海市杨浦区军工路516号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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