沈阳睿昇精密制造有限公司姚力军获国家专利权
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龙图腾网获悉沈阳睿昇精密制造有限公司申请的专利冷却盘以及冷却盘压制工具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223090909U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421546705.9,技术领域涉及:F25D31/00;该实用新型冷却盘以及冷却盘压制工具是由姚力军;张桐滨;袁海军;陈玉蓉;叶慧廷;赵洪斌设计研发完成,并于2024-07-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本冷却盘以及冷却盘压制工具在说明书摘要公布了:本实用新型属于半导体技术领域,公开了一种冷却盘以及冷却盘压制工具。冷却盘包括盘体和冷却管,盘体的一侧用于对晶圆进行冷却,盘体的另一侧开设容置槽;容置槽与冷却管形状匹配,冷却管过盈镶嵌于容置槽,容置槽包括第一槽和第二槽,第一槽的宽度小于冷却管的宽度;第二槽与第一槽连通且与冷却管的周侧外形适配以限制冷却管从第二槽脱出。上述冷却盘以及冷却盘压制工具,冷却管嵌设在容置槽中,在安装冷却管时,无需涂胶,也即压制过程中,冷却管具有一定的弹性,能够在压制的过程中,适当缩小,使得冷却管以过盈的状态安装到容置槽中,不会弄脏冷却盘的外观,安装快速,且不易脱落,冷却管的安装稳定性更好。
本实用新型冷却盘以及冷却盘压制工具在权利要求书中公布了:1.冷却盘,其特征在于,包括: 盘体10,其一侧用于对晶圆进行冷却,所述盘体10的另一侧开设容置槽11; 冷却管20,所述容置槽11与所述冷却管20形状匹配,所述冷却管20过盈镶嵌于所述容置槽11,所述容置槽11包括: 第一槽111,所述第一槽111的宽度小于所述冷却管20的宽度; 第二槽112,与所述第一槽111连通且与所述冷却管20的周侧外形适配以限制所述冷却管20从所述第二槽112脱出。
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