深圳市麦捷微电子科技股份有限公司张路南获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市麦捷微电子科技股份有限公司申请的专利一种晶圆夹具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223092858U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421580197.6，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种晶圆夹具是由张路南;赖定权设计研发完成，并于2024-07-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆夹具在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种晶圆夹具，夹具包括夹具主体、固定弹片和晶圆定位块，夹具主体上开设有一个以上用于承载晶圆的晶圆承载凹台。本实用新型通过将弹片可拆卸地安装在夹具主体上，使得夹具主体与弹片分别可以使用不同材质制作，使其满足生产中固定晶圆的要求。本实用新型采用弹片可拆装结构，可直接完成更换，方便了加工及维修，夹具固定块增加了晶圆固定作用及减缓裂片的风险，并且通过应力分析及DOE验证结果表明其焊接品质更能达到客户的要求，投入量产后对现场的工作效率及综合良率有明显提升。
本实用新型一种晶圆夹具在权利要求书中公布了：1.一种晶圆夹具，其特征是：所述的夹具包括夹具主体（50）、固定弹片（30）和晶圆定位块（60），夹具主体（50）上开设有一个以上用于承载晶圆的晶圆承载凹台（80），晶圆承载凹台（80）设置有六个，六个晶圆承载凹台（80）在夹具主体（50）上呈圆周均匀分布，所述的固定弹片（30）采用能够拆卸地安装方式安装在夹具主体（50）的底面上并位于夹具主体（50）的边缘，所述的晶圆定位块（60）采用能够拆卸地安装方式安装在夹具主体（50）的底面上并位于夹具主体（50）的边缘。
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