浙江创芯集成电路有限公司吴建明获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利光罩吹扫系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223092291U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421609705.9，技术领域涉及：G03F1/82；该实用新型光罩吹扫系统是由吴建明;刘攀;周国栋设计研发完成，并于2024-07-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本光罩吹扫系统在说明书摘要公布了：本实用新型实施例提供了一种光罩吹扫系统，光罩吹扫系统包括：承载装置；位于承载装置上方，沿第一方向延伸的第一滑轨；位于承载装置上方，沿第二方向延伸的第二滑轨，第二滑轨还沿第一方向与第一滑轨滑移配合，第一方向与第二方向不同；位于第二滑轨的吹扫件，吹扫件沿第二方向与第二滑轨滑移配合；与第二滑轨电连接，调整第二滑轨在第一方向的位置信息，以及与吹扫件电连接，调整吹扫件在第二方向的位置信息的控制装置。采用上述技术方案，能够在降低光罩表面的污染物的量的同时，还能做到只吹扫光罩的被污染区域而不吹扫光罩的未被污染区域，减少不必要的吹扫导致的光罩表面保护膜的破损，进而提高芯片的良率。
本实用新型光罩吹扫系统在权利要求书中公布了：1.一种光罩吹扫系统，其特征在于，包括： 承载光罩的承载装置； 位于所述承载装置上方，沿第一方向延伸的第一滑轨； 位于所述承载装置上方，沿第二方向延伸的第二滑轨，所述第二滑轨还沿所述第一方向与所述第一滑轨滑移配合，其中，所述第一方向与所述第二方向不同； 位于所述第二滑轨的吹扫件，所述吹扫件沿所述第二方向与所述第二滑轨滑移配合； 与所述第二滑轨电连接，调整所述第二滑轨在所述第一方向的位置信息，以及与所述吹扫件电连接，调整所述吹扫件在所述第二方向的位置信息的控制装置。
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