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龙图腾网获悉江苏科技大学申请的专利一种用于制造高性能太阳能电池的低损伤溅射镀膜设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119040815B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410994109.5，技术领域涉及：C23C14/34；该发明授权一种用于制造高性能太阳能电池的低损伤溅射镀膜设备是由李阳;叶永林;朱志宇;许俊华;郑雨荷;袁妍妍;聂宇婷设计研发完成，并于2024-07-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于制造高性能太阳能电池的低损伤溅射镀膜设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于制造高性能太阳能电池的低损伤溅射镀膜设备，包括真空腔以及设置在真空腔内的阴极靶、阳极和样品台；所述阳极位于阴极靶和样品台之间；工作时，阳极与阴极之间产生等离子体，受气体离子轰击的靶材将目标原子分子穿过阳极区形成的开口沉积到样品台表面的样品基底上。本发明通过对溅射镀膜设备中阴极靶、阳极和样品的相对位置进行调整，限制等离子体在阴阳极之间产生，不影响到样品区域，从而能够有效避免溅射镀膜过程对电池片表面以及已沉积材料表面的损伤，进而提高太阳能电池的性能。

本发明授权一种用于制造高性能太阳能电池的低损伤溅射镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种非晶氧化硅太阳能电池钝化层的制备方法，其特征在于：所述方法采用如下设备制备而成，所述设备包括真空腔（1）以及设置在真空腔（1）内的阴极靶（2）、阳极（10）和样品台（6）；所述阳极（10）位于阴极靶（2）和样品台（6）之间；工作时，阳极（10）与阴极之间产生等离子体，受气体离子轰击的靶材将目标原子分子穿过阳极区形成的开口沉积到样品台（6）表面的样品上； 其中，在500~1000V的电压范围内，样品台（6）与阳极（10）的距离为不大于5cm；所述阳极（10）为两块矩形铜板，两块矩形铜板组成的阳极（10）为中心对称结构，两块矩形铜板形成的阳极区开口面积不小于样品台（6）上表面的面积；所述两块矩形铜板分别通过对应的拉杆组件带动移动，使两块矩形铜板之间形成阳极区开口或使阳极区开口闭合； 所述制备方法具体过程如下：安装氧化硅靶材；在样品台（6）上放入单晶硅样品基底；开启电源；打开循环水；检查气阀，确保气阀关闭，打开真空泵抽真空至气压值为10-4Pa；保持抽真空，打开氩气气体阀，使真空腔内气压维持在3×10-1Pa，确保两块矩形铜板闭合，打开直流电源，调节功率至100W，开启射频电源开关，腔体内开始起辉；等待1min，待靶材表面污染物去除之后，向两侧同时拉动拉杆（8），将两块矩形铜板移动至打开状态，目标材料穿过阳极区形成的开口（102）沉积至样品台（6）表面的样品上，镀膜开始；镀膜时间为10min。

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