成都海威华芯科技有限公司李朝兵获国家专利权
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龙图腾网获悉成都海威华芯科技有限公司申请的专利一种晶圆切割进料装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223085139U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421805438.2,技术领域涉及:B28D7/04;该实用新型一种晶圆切割进料装置是由李朝兵设计研发完成,并于2024-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆切割进料装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶圆切割进料装置,属于晶圆切割技术领域,主要包括推动组件和缓冲结构,所述推动组件包括支架、凸轮、推动架和滑轮,支架固定设置在滑块与气缸之间,凸轮转动连接支架,推动架活动设置在支架的底部,滑轮转动设置在推动架的上方,滑轮滑动连接凸轮;缓冲结构设置在推动架的下方,所述缓冲结构包括缓冲垫和限位杆,所述限位杆固定设置在缓冲垫的上方壁面上,所述限位杆活动连接推动架,所述推动架与缓冲垫弹性连接。本实用新型通过缓冲结构将吸盘的吸力卸去的同时还保证了推动晶圆的力,不仅不会造成晶圆损坏,还会配合推动组件一起辅助晶圆的切割加工;同时将转动电机外设,方便更换。
本实用新型一种晶圆切割进料装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆切割进料装置,其特征在于,包括: 驱动导轨10,驱动导轨10包括驱动电机和导轨,所述导轨连接在驱动电机的输出端上; 滑块11,滑块11滑动设置在驱动导轨10内; 气缸12,气缸12固定设置在滑块11的底部壁面上; 吸盘13,吸盘13的上方固定设置有安装柱,安装柱固定设置在气缸12的底部壁面; 推动组件,所述推动组件包括支架14、凸轮16、推动架17和滑轮20,所述支架14固定设置在滑块11与气缸12之间,所述凸轮16转动连接支架14,所述推动架17活动设置在支架14的底部,所述滑轮20转动设置在推动架17的上方,所述滑轮20滑动连接凸轮16; 缓冲结构,所述缓冲结构设置在推动架17的下方,所述缓冲结构包括缓冲垫24和限位杆25,所述限位杆25固定设置在缓冲垫24的上方壁面上,所述限位杆25活动连接推动架17,所述推动架17与缓冲垫24弹性连接。
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