深圳市大族半导体装备科技有限公司方林志获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市大族半导体装备科技有限公司申请的专利气路装置及激光退火设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223090440U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421817742.9，技术领域涉及：F17D1/02；该实用新型气路装置及激光退火设备是由方林志;刘佳鑫;童灿钊;巫礼杰;尹建刚;韩子娟;王帆帆设计研发完成，并于2024-07-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本气路装置及激光退火设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种气路装置及激光退火设备，包括吹气件和抽气件。吹气件设有吹气孔，吹气孔用于与第一气源连通，第一气源的气压大于大气压；抽气件设有抽气孔，抽气孔用于与第二气源连通，第二气源的气压小于大气压；设第一位置用于放置工件，抽气孔与吹气孔分别位于第一位置的相对的两侧，抽气孔用于抽吸吹气孔吹出的气体。本申请的气路装置能够有效提升散热效果。
本实用新型气路装置及激光退火设备在权利要求书中公布了：1.气路装置，其特征在于，包括： 吹气件，设有吹气孔，所述吹气孔用于与第一气源连通，所述第一气源的气压大于大气压； 抽气件，设有抽气孔，所述抽气孔用于与第二气源连通，所述第二气源的气压小于大气压；设第一位置用于放置工件，所述抽气孔与所述吹气孔分别位于所述第一位置的相对的两侧，所述抽气孔用于抽吸所述吹气孔吹出的气体。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市大族半导体装备科技有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市宝安区福海街道和平社区重庆路12号大族激光智造中心4栋厂房401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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