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龙图腾网获悉友达光电(昆山)有限公司;友达光电股份有限公司申请的专利蚀刻装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223092818U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421876848.6，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型蚀刻装置是由蔡照辉;杨东;李鸿;夏凡星;李翔宇设计研发完成，并于2024-08-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本蚀刻装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种蚀刻装置，其包含第一腔室、第一第二限位组件以及第一感测组件。第一腔室内设置有多个第一传送轴，第一、第二限位组件分别包含多对第一、第二限位柱，多对第一、第二限位柱均沿第一方向排列，每对第一、第二限位柱于第二方向分别具有第一、第二间距，第一间距小于第二间距。第一感测组件邻近入口且不超出多个第一传送轴的顶面。第一薄化模式下，第一感测组件开启以侦测是否有第一板状元件进入第一腔室，若有，则多对第一限位柱超出多个第一传送轴的顶面；第二薄化模式下，多对第一限位柱不超出多个第一传送轴的顶面，同时多对第二限位柱超出多个第一传送轴的顶面。本实用新型的蚀刻装置具有通用性。

本实用新型蚀刻装置在权利要求书中公布了：1.一种蚀刻装置，其特征在于，该蚀刻装置用于对第一板状元件及或第二板状元件进行薄化，该第一板状元件的尺寸小于该第二板状元件的尺寸，该蚀刻装置包含， 第一腔室，具有入口，该第一腔室内设置有沿第一方向排列并沿第二方向延伸的多个第一传送轴，该第一方向与该第二方向垂直，该多个第一传送轴用于沿该第一方向传送该第一板状元件或该第二板状元件； 第一限位组件及第二限位组件，对应该多个第一传送轴设置于该第一腔室内，该第一限位组件包含多对第一限位柱，该第二限位组件包含多对第二限位柱，该多对第一限位柱及该多对第二限位柱均沿该第一方向排列，每对第一限位柱于该第二方向具有第一间距，每对第二限位柱于该第二方向具有第二间距，该第一间距小于该第二间距；以及 第一感测组件，邻近该入口设置于该第一腔室内且不超出该多个第一传送轴的顶面； 于第一薄化模式下，该第一感测组件开启以侦测是否有第一板状元件进入该第一腔室，若有，则该多对第一限位柱突出升起而超出该多个第一传送轴的顶面以将该第一板状元件限位于每对第一限位柱之间；于第二薄化模式下，该多对第一限位柱不超出该多个第一传送轴的顶面，同时该多对第二限位柱超出该多个第一传送轴的顶面以将该第二板状元件限位于每对第二限位柱之间。

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