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浙江柔震科技有限公司焦鑫鹏获国家专利权

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龙图腾网获悉浙江柔震科技有限公司申请的专利挡板组件及蒸镀装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223087888U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421888911.8,技术领域涉及:C23C14/24;该实用新型挡板组件及蒸镀装置是由焦鑫鹏;刘志康;伽龙;吴明忠设计研发完成,并于2024-08-06向国家知识产权局提交的专利申请。

挡板组件及蒸镀装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种挡板组件及蒸镀装置,属于蒸镀设备技术领域,包括:基板;第一支撑板,配置在基板中靠近蒸发源的一侧;第一支撑板在其第一方向形成第二槽孔,第二槽孔与蒸发源蒸发测连通,且第二槽孔沿第一支撑板平行设置为若干组,沿第二槽孔的深度方向朝向基板对应形成相连通、且连通处宽度大于第二槽孔的容置空间。本实用新型的组件,形成与蒸发侧连通的第二槽孔,并进一步在第二槽孔内侧形成与之连通的容置空间,由于容置空间具有更大宽度尺寸,靶材蒸汽部分通过第二槽孔后,会沉积在容置空间的壁面上,部分金属蒸汽会沉积在容置空间中宽于第二槽孔的位置,因此可在附着沉积后增加锚固作用。

本实用新型挡板组件及蒸镀装置在权利要求书中公布了:1.一种挡板组件,包括: 基板; 第一支撑板,配置在基板中靠近蒸发源的一侧; 其特征在于,第一支撑板在其第一方向形成第二槽孔,第二槽孔与蒸发源蒸发测连通,且第二槽孔沿第一支撑板设置为若干组,沿第二槽孔的深度方向朝向基板对应形成相连通、且连通处宽度大于第二槽孔的容置空间。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人浙江柔震科技有限公司,其通讯地址为:314400 浙江省嘉兴市海宁市斜桥镇新合路6号1幢B区;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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