天津华慧新科智能装备有限公司曲迪获国家专利权
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龙图腾网获悉天津华慧新科智能装备有限公司申请的专利一种用于晶圆与载片浸泡分离的清洗花篮获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223092830U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421919775.4，技术领域涉及：H01L21/673；该实用新型一种用于晶圆与载片浸泡分离的清洗花篮是由曲迪;宋学颖;于坤鹏设计研发完成，并于2024-08-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶圆与载片浸泡分离的清洗花篮在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于晶圆与载片浸泡分离的清洗花篮，属于半导体晶圆清洗技术领域，包括晶圆承载盘和手持支架；其特征在于：所述晶圆承载盘上开设有M个通孔；M为大于0的自然数；在所述晶圆承载盘的上表面设置有N个载片支架和L个阻挡柱体，L和N均为大于1的自然数；所述载片支架位于M个通孔的四周，所述阻挡柱体位于载片支架的四周；在所述晶圆承载盘的下表面设置有悬空支点；所述阻挡柱体的高度大于载片支架的高度。本实用新型将载片支架设在阻挡柱体内侧，可以支撑载片，并与承载盘之间形成晶圆脱落空间，使晶圆与载片脱离时，晶圆能够顺利精准的落入晶圆承载盘上，避免碰撞和摩擦，保护晶圆完整性。
本实用新型一种用于晶圆与载片浸泡分离的清洗花篮在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆与载片浸泡分离的清洗花篮，包括晶圆承载盘3和手持支架1；其特征在于：所述晶圆承载盘3上开设有M个通孔6；M为大于0的自然数；在所述晶圆承载盘3的上表面设置有N个载片支架4和L个阻挡柱体5，L和N均为大于1的自然数；所述载片支架4位于M个通孔6的四周，所述阻挡柱体5位于载片支架4的四周；在所述晶圆承载盘3的下表面设置有悬空支点2；所述阻挡柱体5的高度大于载片支架4的高度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人天津华慧新科智能装备有限公司，其通讯地址为：300467 天津市滨海新区中新生态城滨海旅游区安正路以东、海旭道以北滨旅产业园B06厂房南侧一层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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