英特尔NDTM美国有限公司李文哲获国家专利权
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龙图腾网获悉英特尔NDTM美国有限公司申请的专利气动阀、气体供给装置和基片处理系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223090114U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421942464.X，技术领域涉及：F16K31/12；该实用新型气动阀、气体供给装置和基片处理系统是由李文哲;李万超设计研发完成，并于2024-08-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本气动阀、气体供给装置和基片处理系统在说明书摘要公布了：本实用新型涉及气动阀、气体供给装置和基片处理系统。气动阀为在基片处理系统中使用的气动阀，其包括：进气口，其用于向气动阀内部通入对基片进行处理的处理气体或对气动阀内部进行吹扫的吹扫气体；处理气体用阀，其用于控制处理气体向基片处理系统的处理腔室的流通；吹扫气体用阀，其用于控制被供给到气动阀内部的吹扫气体向气动阀外部的吹扫管线的流通；处理气体流出路径，其一端与处理气体用阀连接，另一端与处理腔室连接；吹扫气体流出路径，其一端与吹扫气体用阀连接，另一端与吹扫管线连接；处理气体流通路径，其从进气口至处理气体用阀；和吹扫气体流通路径，其从进气口至吹扫气体用阀，吹扫气体流通路径完全覆盖处理气体流通路径。
本实用新型气动阀、气体供给装置和基片处理系统在权利要求书中公布了：1.一种气动阀，其为在用于对基片进行处理的基片处理系统中使用的气动阀，其特征在于，包括： 进气口，其用于向所述气动阀的内部通入对所述基片进行处理的处理气体或对所述气动阀的内部进行吹扫的吹扫气体； 处理气体用阀，其用于控制所述处理气体向所述基片处理系统的处理腔室的流通； 吹扫气体用阀，其用于控制被供给到所述气动阀的内部的所述吹扫气体向所述气动阀的外部的吹扫管线的流通； 处理气体流通路径，其从所述进气口至所述处理气体用阀； 吹扫气体流通路径，其从所述进气口至所述吹扫气体用阀； 处理气体流出路径，其一端与所述处理气体用阀连接，另一端与所述处理腔室连接；和 吹扫气体流出路径，其一端与所述吹扫气体用阀连接，另一端与所述吹扫管线连接， 所述吹扫气体流通路径完全覆盖所述处理气体流通路径。
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