上海积塔半导体有限公司马超获国家专利权
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龙图腾网获悉上海积塔半导体有限公司申请的专利半导体工艺机台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223092848U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421965176.6，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型半导体工艺机台是由马超设计研发完成，并于2024-08-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体工艺机台在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种半导体工艺机台。所述半导体工艺机台包括：至少一激光光源，所述激光光源包括绿光光源，所述绿色光源用于发出绿色激光；至少一光纤，所述光纤的一端连接至所述激光光源；绿光调节器，设置于所述绿光光源连接的光纤上，所述绿光调节器进一步包括外壳和多个不同尺寸的透光片，所述绿光调节器能够衰减经过所述透光片的所述绿色激光，且所述透光片的光强衰减比例随所述透光片尺寸的增大而减小。上述技术方案通过设置带有能够衰减绿光的透光片的绿光调节器，调节机台发出的绿光光强，使得绿色激光在半导体工艺机台进行对准时被衰减，降低了绿色激光在光刻对准时对光刻胶的损害，进而避免损伤晶圆，在一定程度上提高了产品的良率。
本实用新型半导体工艺机台在权利要求书中公布了：1.一种半导体工艺机台，其特征在于，包括： 至少一激光光源，所述激光光源包括绿光光源，所述绿光光源用于发出绿色激光； 至少一光纤，所述光纤的一端连接至所述激光光源； 绿光调节器，设置于所述绿光光源连接的光纤上，所述绿光调节器进一步包括外壳和多个不同尺寸的透光片，所述绿光调节器能够衰减经过所述透光片的所述绿色激光，且所述透光片的光强衰减比例随所述透光片尺寸的增大而减小。
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