上海原力芯辰科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉上海原力芯辰科技有限公司申请的专利一种ALD装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223087909U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421962049.0，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种ALD装置是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-08-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种ALD装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种ALD装置，涉及光伏及半导体技术领域。ALD装置包括依次设置的上下料机、加热机构、转运机构以及镀膜机构。上下料机用于向加热机构输送基底，加热机构用于向转运机构输送基底的同时加热基底，转运机构用于接收从加热机构的基底，并将基底输送至镀膜机构进行镀膜工艺，上下料机还用于接收完成镀膜工艺的基底，并将接收的基底下料后上料并再次向加热机构输送基底，并以此循环进行。因此，将基底由上下料机输送至转运机构的过程中还同时对基底进行预加热，以减少基底在镀膜机构中的加热时间，以此提高ALD装置的生产效率，因而提升ALD装置的产能及产量。
本实用新型一种ALD装置在权利要求书中公布了：1.一种ALD装置，其特征在于，包括依次设置的上下料机100、加热机构200、转运机构300以及镀膜机构400； 所述上下料机100用于向所述加热机构200输送基底，所述加热机构200用于向所述转运机构300输送所述基底的同时加热所述基底，所述转运机构300用于接收从所述加热机构200的所述基底，并将所述基底输送至所述镀膜机构400进行镀膜工艺，所述上下料机100还用于接收完成镀膜工艺的所述基底，并将接收的所述基底下料后上料并再次向加热机构200输送基底，并以此循环进行。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海原力芯辰科技有限公司，其通讯地址为：201800 上海市嘉定区汇发路301号盛剑大厦；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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