上海原力芯辰科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉上海原力芯辰科技有限公司申请的专利喷淋系统及板式设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223087908U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421959377.5，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型喷淋系统及板式设备是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-08-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本喷淋系统及板式设备在说明书摘要公布了：本申请提供了一种喷淋系统及板式设备，涉及半导体设备技术领域。该喷淋系统包括框架和设置于框架上的多个第一喷气模块，多个第一喷气模块沿第一方向均匀间隔排布，每个第一喷气模块内设置有多个依次排布的第一缓冲腔室，多个第一缓冲腔室之间依次连通，每个第一喷气模块上均设置有第一进气口和第一出气口，在第二方向上，第一进气口和第一出气口分别与位于两端的两个第一缓冲腔室相连通，其能够较好地保证成膜的均匀性。
本实用新型喷淋系统及板式设备在权利要求书中公布了：1.一种喷淋系统，其特征在于，包括框架1和设置于所述框架1上的多个第一喷气模块2，多个所述第一喷气模块2沿第一方向均匀间隔排布，每个所述第一喷气模块2内设置有多个依次排布的第一缓冲腔室21，多个所述第一缓冲腔室21之间依次连通，每个所述第一喷气模块2上均设置有第一进气口22和第一出气口23，在第二方向上，所述第一进气口22和所述第一出气口23分别与位于两端的两个所述第一缓冲腔室21相连通； 其中，所述第二方向为多个所述第一缓冲腔室21的排布方向，所述第二方向与所述第一方向相垂直。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海原力芯辰科技有限公司，其通讯地址为：201800 上海市嘉定区汇发路301号盛剑大厦；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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