北京元六鸿远电子科技股份有限公司;北京元陆鸿远电子技术有限公司王帅获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉北京元六鸿远电子科技股份有限公司;北京元陆鸿远电子技术有限公司申请的专利一种可双面干法刻蚀且真空状态下导热良好的工装夹具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223092859U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421987681.0，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种可双面干法刻蚀且真空状态下导热良好的工装夹具是由王帅;张超越;王新;段成辉;赵伟利设计研发完成，并于2024-08-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可双面干法刻蚀且真空状态下导热良好的工装夹具在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种可双面干法刻蚀且真空状态下导热良好的工装夹具，涉及光刻夹具技术领域包括冷却平台以及冷却平台上的片位槽，所述片位槽放置有样品，样品上放置有压板，压板通过螺栓固定在冷却平台上；在真空状态下存在并具有良好导热性的两层特殊导热材料；可均匀受力的压片设计，可均匀施加压力，以固定样品，并最大程度使样品与冷却平台接触。
本实用新型一种可双面干法刻蚀且真空状态下导热良好的工装夹具在权利要求书中公布了：1.一种可双面干法刻蚀且真空状态下导热良好的工装夹具，包括冷却平台100以及冷却平台100上的片位槽，其特征在于，所述片位槽放置有样品400，所述样品400上放置有压板500，所述压板500通过螺栓600固定在冷却平台100上。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京元六鸿远电子科技股份有限公司;北京元陆鸿远电子技术有限公司，其通讯地址为：100071 北京市丰台区海鹰路1号院5号楼3层3-2(园区)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号