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龙图腾网获悉上海原力芯辰科技有限公司申请的专利一种ALD喷淋系统及ALD设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223087910U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421983685.1，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种ALD喷淋系统及ALD设备是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-08-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种ALD喷淋系统及ALD设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种ALD喷淋系统及ALD设备，涉及镀膜技术领域。该ALD喷淋系统包括喷淋件与管路系统，喷淋件包括喷淋底板与喷淋面板，喷淋底板具有第一进气腔、第二进气腔与第三进气腔，喷淋面板具有封盖第一进气腔的第一喷淋区、封盖第二进气腔的第二喷淋区以及封盖第三进气腔的第三喷淋区，第二喷淋区分隔第一喷淋区与第三喷淋区；管路系统具有与第一进气腔选择性连通的氧源管路、与第二进气腔选择性连通的隔离气管路以及与第三进气腔选择性连通的金属源管路，以及将氧源管路、隔离气管路及金属源管路选择性连通的中间分流管路。本实用新型提供的ALD喷淋系统既能够满足时间型沉积的喷淋要求，又能够满足空间型沉积的喷淋要求。

本实用新型一种ALD喷淋系统及ALD设备在权利要求书中公布了：1.一种ALD喷淋系统，其特征在于，包括： 喷淋件，所述喷淋件包括相互连接的喷淋底板110及喷淋面板120，所述喷淋底板110的表面分别凹设有第一进气腔111、第二进气腔112及第三进气腔113，所述喷淋面板120的表面具有第一喷淋区121、第二喷淋区122及第三喷淋区123，所述第二喷淋区122分隔所述第一喷淋区121与所述第三喷淋区123，所述第一喷淋区121封盖所述第一进气腔111，所述第二喷淋区122封盖所述第二进气腔112，所述第三喷淋区123封盖所述第三进气腔113； 管路系统130，所述管路系统130具有氧源管路131、隔离气管路132、金属源管路133及中间分流管路134，所述氧源管路131的一端与所述第一进气腔111连通，另一端用于引入氧源气体；所述隔离气管路132的一端与所述第二进气腔112连通，另一端用于引入隔离气体；所述金属源管路133的一端与所述第三进气腔113连通，另一端用于引入金属源气体； 所述中间分流管路134与所述氧源管路131、所述隔离气管路132及所述金属源管路133分别连接，用于将所述氧源管路131、所述隔离气管路132及所述金属源管路133选择性连通。

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