上海原力芯辰科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉上海原力芯辰科技有限公司申请的专利一种镀膜装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223087890U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421985836.7，技术领域涉及：C23C14/24；该实用新型一种镀膜装置是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-08-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种镀膜装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种镀膜装置，涉及光伏及半导体技术领域。镀膜装置包括蒸镀腔、ALD腔、载料台以及第一输送件。其中，蒸镀腔内设置有蒸发件，蒸发件用于对基底进行蒸镀工艺；ALD腔内设置有喷淋件，ALD腔与蒸镀腔连接，喷淋件用于对基底进行ALD工艺；第一输送件设置于蒸镀腔及ALD腔，用于移动载料台。载料台用于承载基底，载料台呈竖直，以使基底呈竖直设置；或载料台呈倾斜设置，以使基底朝向蒸发件或喷淋件倾斜设置；以使承载于载料台上的基底也呈竖直或倾斜设置，从而使得蒸发件及喷淋件以水平或倾斜向上对基底进行膜层沉积，既能够减小玻璃基底的变形量，又可保证基底整体成膜的均匀性，从而提高了镀膜的生产效率和质量。
本实用新型一种镀膜装置在权利要求书中公布了：1.一种镀膜装置，其特征在于，包括： 蒸镀腔（100），所述蒸镀腔（100）内设置有蒸发件（110），所述蒸发件（110）用于对基底（20）进行蒸镀工艺； ALD腔（200），所述ALD腔（200）内设置有喷淋件（210），所述ALD腔（200）与所述蒸镀腔（100）连接，所述喷淋件（210）用于对所述基底（20）进行ALD工艺； 载料台（300），所述载料台（300）用于承载所述基底（20），所述载料台（300）呈竖直或倾斜设置，所述基底（20）贴设于所述载料台（300）； 第一输送件（410），所述蒸镀腔（100）及所述ALD腔（200）均设置有所述第一输送件（410），所述第一输送件（410）用于输送所述载料台（300）。
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