上海原力芯辰科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉上海原力芯辰科技有限公司申请的专利一种ALD镀膜装置及ALD镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223087912U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422055804.3，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种ALD镀膜装置及ALD镀膜设备是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-08-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种ALD镀膜装置及ALD镀膜设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种ALD镀膜装置及ALD镀膜设备，涉及镀膜技术领域。该ALD镀膜装置包括沉积室、喷淋模块及加热模块，喷淋模块与加热模块均容置于沉积室内，喷淋模块与加热模块之间具有沉积通道；喷淋模块包括氧源喷淋件、第一金属源喷淋件、隔离气喷淋件、抽气件及第二金属源喷淋件，多个氧源喷淋件与多个第一金属源喷淋件沿沉积通道依次间隔排布，任意相邻的氧源喷淋件与第一金属源喷淋件之间布置有隔离气喷淋件与抽气件，第一金属源喷淋件与第二金属源喷淋件用于向沉积通道喷淋不同的金属源气体。本实用新型实施例提供的ALD镀膜装置兼具时间型与空间型沉积功能，具有生产效率更高、成膜质量更好的特点。
本实用新型一种ALD镀膜装置及ALD镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种ALD镀膜装置，其特征在于，包括沉积室110、喷淋模块120及加热模块130，所述喷淋模块120与所述加热模块130均容置于所述沉积室110内，所述喷淋模块120与所述加热模块130之间具有沉积通道140； 所述喷淋模块120包括氧源喷淋件121、第一金属源喷淋件122、隔离气喷淋件123、抽气件124及第二金属源喷淋件125，多个所述氧源喷淋件121与多个所述第一金属源喷淋件122沿所述沉积通道140依次间隔排布，任意相邻的所述氧源喷淋件121与所述第一金属源喷淋件122之间布置有所述隔离气喷淋件123与所述抽气件124，所述第一金属源喷淋件122与所述第二金属源喷淋件125用于向所述沉积通道140喷淋不同的金属源气体。
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