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龙图腾网获悉匠岭科技(上海)有限公司申请的专利一种晶圆检测方法、装置、存储介质及设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118967648B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411168197.X，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权一种晶圆检测方法、装置、存储介质及设备是由倪赛健;党江涛;王英设计研发完成，并于2024-08-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆检测方法、装置、存储介质及设备在说明书摘要公布了：在本说明书提供的一种晶圆检测方法、装置、存储介质及设备中，通过获取待检测晶圆的表面图像，并从该表面图像的各晶粒图像中，选取一张晶粒图像作为基准图像，并将其他晶粒图像作为测试图像，在该基准图像中确定第一标记点，通过图像匹配分别在各测试图像中确定出与该第一标记点对齐的定位点，根据各测试图像中的定位点，将各测试图像对齐，融合得到模板图像，基于该模板图像对各晶粒图像逐一进行比对，实现缺陷检测，成本低、效率高以及模板图像的精确度高，同时，该模板图像是基于实际生产中采集的各晶粒图像融合得到的一张无缺陷的晶粒图像，提高了缺陷检测的准确性。

本发明授权一种晶圆检测方法、装置、存储介质及设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆检测方法，其特征在于，包括： 获取待检测晶圆的表面图像，其中，所述表面图像中包含若干晶粒的晶粒图像； 从各晶粒图像中选择一张晶粒图像作为基准图像，将其它晶粒图像作为测试图像； 根据所述基准图像中第一标记点的位置，以及预设的标记点与晶粒的位置关系，在所述基准图像中标定出第一窗口图像，针对每个测试图像，基于所述待检测晶圆的表面图像，确定该测试图像与所述基准图像间的距离偏差，并根据所述距离偏差以及该测试图像的像素尺寸，确定该测试图像与所述基准图像间的像素偏差，根据所述像素偏差以及所述第一标记点在所述基准图像中的位置，确定该测试图像中第二标记点的位置；根据预设的所述第一窗口图像的尺寸，以及机台运动和相机定标的偏差，确定第二窗口图像尺寸；将所述第二窗口图像与所述第一窗口图像进行图像匹配，在该测试图像中确定与所述第一窗口图像匹配的区域，作为目标区域，在所述目标区域中，确定该测试图像中与所述第一标记点对齐的定位点，其中，所述第二窗口图像大于所述第一窗口图像，所述第一标记点在所述第一窗口图像中的位置关系，与预设的标记点与晶粒的位置关系相同，以保障所述第一窗口图像中包含有更多的晶粒部分，晶粒中的标记点是单个晶粒上提供参考和定位的特定标记或测试点，而非特征点； 根据所述各测试图像中的定位点，将所述各测试图像对齐，并融合得到模板图像； 根据所述模板图像对所述各晶粒图像逐一进行比对，以实现缺陷检测。

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