河南东微电子装备有限公司李心然获国家专利权
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龙图腾网获悉河南东微电子装备有限公司申请的专利一种冷却水道分布均匀的靶材背板获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223087891U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422227480.7，技术领域涉及：C23C14/34；该实用新型一种冷却水道分布均匀的靶材背板是由李心然;王永超;赵泽良;王伟涛设计研发完成，并于2024-09-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种冷却水道分布均匀的靶材背板在说明书摘要公布了：本实用新型包括靶材背板技术领域，具体为一种冷却水道分布均匀的靶材背板；包括背板主体,背板主体上设置有多个流道，相邻流道之间方向相反，流道内可供冷却液流动；流道截面为矩形；背板主体上设置有与其相配合的封板,背板主体和封板将流道密封其中；封板另一侧设置有靶材；有效解决了现有技术中靶材背板表面区域温度差异大和大功率的情况下才能实现相同溅射速率的问题；不仅有效保证了靶材背板的散热功能，也大大降低了能耗。
本实用新型一种冷却水道分布均匀的靶材背板在权利要求书中公布了：1.一种冷却水道分布均匀的靶材背板，其特征在于：包括背板主体（1）,背板主体（1）上设置有多个流道（5），相邻流道（5）之间方向相反，流道（5）内可供冷却液流动；流道（5）截面为矩形；背板主体（1）上设置有与其相配合的封板（2）,背板主体（1）和封板（2）将流道（5）密封其中；封板（2）另一侧设置有靶材。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人河南东微电子装备有限公司，其通讯地址为：450000 河南省郑州市自贸试验区郑州片区(郑东)中州大道与三全路交叉口龙源嘉苑西苑G2号楼三层308号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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