上海新微技术研发中心有限公司林佳木获国家专利权
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龙图腾网获悉上海新微技术研发中心有限公司申请的专利一种设有测温装置的大束流离子注入机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223087894U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422363996.4，技术领域涉及：C23C14/48；该实用新型一种设有测温装置的大束流离子注入机是由林佳木设计研发完成，并于2024-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种设有测温装置的大束流离子注入机在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种设有测温装置的大束流离子注入机，包括真空工艺腔室和测温装置，所述真空工艺腔室包括左工艺腔室门和右工艺腔室门以及所述左工艺腔室门和所述右工艺腔室门之间设置的腔体，所述左工艺腔室门内侧面安装有靶盘，所述靶盘与位于所述左工艺腔室门外的旋转驱动装置连接，所述靶盘的同一圆周上均匀安装多个晶圆支撑盘；所述右工艺腔室门上有预留孔洞，所述测温装置的安装于所述预留孔洞内；所述测温装置的测温端朝向晶圆支撑盘。本实用新型通过在靶盘预留的外接孔上安装温度检测器，在下片过程中对基座逐个进行温度检测，并反馈到机台操作界面，并连接警报装置，可准确快速地找到异常基座，并实施维修，提升产品良率。
本实用新型一种设有测温装置的大束流离子注入机在权利要求书中公布了：1.一种设有测温装置的大束流离子注入机，其特征在于，包括真空工艺腔室1和测温装置2，所述真空工艺腔室1包括左工艺腔室门11和右工艺腔室门12以及所述左工艺腔室门11和所述右工艺腔室门12之间设置的腔体，所述左工艺腔室门11内侧面安装有靶盘，所述靶盘与位于所述左工艺腔室门11外的旋转驱动装置3连接，所述靶盘的同一圆周上均匀安装多个晶圆支撑盘；所述右工艺腔室门12上有预留孔洞，所述测温装置2的安装于所述预留孔洞内；所述测温装置2的测温端朝向晶圆支撑盘。
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