合光光掩模科技(安徽)有限公司苏佩获国家专利权
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龙图腾网获悉合光光掩模科技(安徽)有限公司申请的专利具有保护膜结构的掩模版获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223087887U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422378949.7，技术领域涉及：C23C14/04；该实用新型具有保护膜结构的掩模版是由苏佩设计研发完成，并于2024-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有保护膜结构的掩模版在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种具有保护膜结构的掩模版，包括：掩模基底、掩模图形层和保护膜结构，其中掩模基底的表面开设有环状的凹槽，掩模图形层位于掩模基底开设有凹槽的一侧；保护膜结构包括环状的框架和保护膜，框架的顶部与保护膜连接，框架的底部嵌入凹槽内以连接掩模基底和保护膜结构，且保护膜结构环绕保护掩模图形层。本实用新型能够避免使用有机粘合剂对掩模版产生污染，并且保护膜结构便于拆卸，在拆卸过程中不会存在因清理残胶而损伤掩模版的情况。
本实用新型具有保护膜结构的掩模版在权利要求书中公布了：1.一种具有保护膜结构的掩模版，其特征在于，包括： 掩模基底，所述掩模基底的表面开设有环状的凹槽； 掩模图形层，位于所述掩模基底开设有所述凹槽的一侧； 保护膜结构，包括环状的框架和保护膜，所述框架的顶部与所述保护膜连接，所述框架的底部嵌入所述凹槽内以连接所述掩模基底和所述保护膜结构，且所述保护膜结构环绕保护所述掩模图形层。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人合光光掩模科技(安徽)有限公司，其通讯地址为：230601 安徽省合肥市经济技术开发区空港经济示范区硕放路1号新桥集成电路科技园研发楼103-3室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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