湖北星辰技术有限公司高成康获国家专利权
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龙图腾网获悉湖北星辰技术有限公司申请的专利一种晶圆处理装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223087914U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422414576.4，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种晶圆处理装置是由高成康设计研发完成，并于2024-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆处理装置在说明书摘要公布了：本申请提供一种晶圆处理装置，涉及半导体制造技术领域，包括具有反应腔的炉管，反应腔用于放置沿炉管的高度方向依次排布的多个晶圆，确保每个晶圆均匀地暴露在反应气体的环境中。在炉管的侧壁开设有包括多个进气孔的进气孔组以及排气孔组，进气孔组中的多个进气孔沿炉管的高度方向依次排布，进气孔组中的多个进气孔经反应腔与排气孔组连通，使得反应气体通过不同高度的多个进气孔进入反应腔的不同高度处，从而在反应腔内形成一个均匀的流动环境，使得每个高度位置的晶圆都可以与反应气体均匀接触并进行薄膜沉积，随后，通过排气孔组将未与晶圆反应的反应气体排出反应腔，此设计有效地防止了晶圆的薄膜沉积厚度不一致的问题。
本实用新型一种晶圆处理装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆处理装置，其特征在于，包括具有反应腔10a的炉管10，所述反应腔10a用于放置沿所述炉管10的高度方向依次排布的多个晶圆2，在所述炉管10的侧壁开设有包括多个进气孔21的进气孔组20以及排气孔组30，所述进气孔组20中的多个所述进气孔21沿所述炉管10的高度方向依次排布，所述进气孔组20中的多个所述进气孔21经所述反应腔10a与所述排气孔组30连通，所述进气孔组20用于经多个所述进气孔21向所述反应腔10a内的不同高度处通入反应气体，所述排气孔组30用于排出所述反应腔10a内未与所述晶圆2反应的所述反应气体。
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