成都中科卓尔智能科技集团有限公司李越获国家专利权
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龙图腾网获悉成都中科卓尔智能科技集团有限公司申请的专利一种用于气相沉积的加热装置及镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223087903U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422403974.6，技术领域涉及：C23C16/18；该实用新型一种用于气相沉积的加热装置及镀膜设备是由李越;张小林;万敏设计研发完成，并于2024-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于气相沉积的加热装置及镀膜设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种用于气相沉积的加热装置及镀膜设备，括镀膜腔室、加热板和加热管，所述镀膜腔室的内部设置有样品台，样品台与镀膜腔室的底板构成加热腔体，加热腔体内设置加热板和加热管，加热管设置在加热板的上方，加热管用于对加热板的边缘位置进行温度补偿。本实用新型通过在加热板的上方放置一层加热管，当加热板加热后，再向加热管内通入加热介质，使得加热管对加热板的边缘位置进行温度补偿，提升加热腔室内的加热装置对样品台的均匀加热。
本实用新型一种用于气相沉积的加热装置及镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种用于气相沉积的加热装置，其特征在于：包括镀膜腔室1、加热板2和加热管3，所述镀膜腔室1的内部设置有样品台4，样品台4与镀膜腔室1的底板构成加热腔体11，加热腔体11内设置加热板2和加热管3，加热管3设置在加热板2的上方，加热管3用于对加热板2的边缘位置进行温度补偿。
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