江苏微导纳米科技股份有限公司刘明获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏微导纳米科技股份有限公司申请的专利一种载具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223087899U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422420455.0,技术领域涉及:C23C14/50;该实用新型一种载具是由刘明;郭志强;左敏设计研发完成,并于2024-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种载具在说明书摘要公布了:本申请提供了一种载具,涉及承载装置技术领域。该载具包括底板、固定件、载板和装配件,固定件设置于底板上,载板的数量为多个,每个载板均用于承载衬底,每个载板均与固定件可活动地连接,装配件的数量为多个,每个装配件均与固定件可活动地连接,相邻两个载板之间设置有至少一个装配件,装配件用于对载板进行支撑,底板与其中一个载板或其中一个装配件相抵接,该载具能够便于调整承载于不同载板上的衬底之间的间距。
本实用新型一种载具在权利要求书中公布了:1.一种载具,其特征在于,包括底板1、固定件2、载板3和装配件4,所述固定件2设置于所述底板1上,所述载板3的数量为多个,每个所述载板3均与所述固定件2可活动地连接,所述装配件4的数量为多个,每个所述装配件4均与所述固定件2可活动地连接,相邻两个所述载板3之间设置有至少一个所述装配件4,所述装配件4用于对所述载板3进行支撑,所述底板1与其中一个所述载板3或其中一个所述装配件4相抵接。
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