内蒙古工业大学张海获国家专利权
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龙图腾网获悉内蒙古工业大学申请的专利衬底样品固定夹具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223087898U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422397574.9,技术领域涉及:C23C14/50;该实用新型衬底样品固定夹具是由张海;李新新;刘旭东;牛鼎元;赵学平设计研发完成,并于2024-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本衬底样品固定夹具在说明书摘要公布了:本实用新型属于磁控溅射技术领域,公开了一种衬底样品固定夹具,包括托盘、多个压片和螺钉卡座;托盘的中心位置设置有中心螺孔,托盘上还设置有围绕中心螺孔的多个外围螺孔;每个螺钉卡座与中心螺孔或者外围螺孔螺纹连接;压片的一端与螺钉卡座固定连接,另一端压接在托盘上的衬底样品的表面。本实用新型的夹具能同时固定多个相同类型或不同类型的衬底样品,提高磁控溅射效率并减少结果偶然性偏差。本实用新型在衬底样品安装过程中不会因为拧动压片而带动衬底样品滑动,避免了衬底样品安装与拆卸过程的损坏,保证了衬底样品的完整性,适用范围广,能够实现衬底样品快速固定,操作简单、快捷,有效节约了固定衬底样品的时间,提高了工作效率。
本实用新型衬底样品固定夹具在权利要求书中公布了:1.一种衬底样品固定夹具,其特征在于,包括托盘、多个压片和螺钉卡座; 所述托盘的中心位置设置有中心螺孔,所述托盘上还设置有围绕所述中心螺孔的多个外围螺孔; 每个螺钉卡座与所述中心螺孔或者所述外围螺孔螺纹连接; 所述压片的一端与所述螺钉卡座固定连接,另一端压接在所述托盘上的衬底样品的表面。
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