拓荆科技(上海)有限公司齐永恒获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆科技(上海)有限公司申请的专利一种化学源输送管路结构及PEALD设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223090443U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422427248.8，技术领域涉及：F17D1/04；该实用新型一种化学源输送管路结构及PEALD设备是由齐永恒;关帅;吴凤丽设计研发完成，并于2024-10-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种化学源输送管路结构及PEALD设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种化学源输送管路结构及PEALD设备，化学源输送管路结构，包括载气输送管路、载气进入管路以及反应源输出管路，载气输送管路与反应腔可通断地的连接，载气进入管路与载气输送管路和反应源入口可通断地的连接；反应源输出管路与反应源出口和反应腔可通断地的连接；其中，载气输送管路、载气进入管路和反应源输出管路均设有ALD阀，载气进入管路和反应源输出管路中至少一条管路上设有气动阀，气动阀设于ALD阀的上游位置，气动阀上设有互锁功能。本实用新型释放了ALD阀，使其不受继电器的影响，实现了ALD阀的快速响应，同时，将互锁功能设置在气动阀上，满足了安全的要求。
本实用新型一种化学源输送管路结构及PEALD设备在权利要求书中公布了：1.一种化学源输送管路结构，其特征在于，包括： 载气输送管路，与反应腔可通断地的连接； 载气进入管路，与所述载气输送管路和反应源入口可通断地的连接； 反应源输出管路，与反应源出口和反应腔可通断地的连接； 其中，所述载气输送管路、所述载气进入管路和所述反应源输出管路均设有ALD阀，所述载气进入管路和所述反应源输出管路中至少一条管路上设有气动阀，所述气动阀设于所述ALD阀的上游位置，所述气动阀上设有互锁功能。
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