苏州材装半导体设备有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州材装半导体设备有限公司申请的专利一种具有循环冷却水监控组件的真空泵获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223089496U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422530854.2,技术领域涉及:F04B39/06;该实用新型一种具有循环冷却水监控组件的真空泵是由请求不公布姓名设计研发完成,并于2024-10-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有循环冷却水监控组件的真空泵在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种具有循环冷却水监控组件的真空泵,包括:泵体和监控组件。泵体上设置有进水口和出水口,进水口用于供冷却水进入泵体,出水口用于供冷却水离开泵体,冷却水用于带走泵体的热量。监控组件包括流量温度检测部和压力检测部,流量温度检测部和压力检测部靠近出水口设置,流量温度检测部用于检测出水口处的冷却水的流量和温度,压力检测部用于检测出水口处的压力。通过冷却水进出泵体,冷却水可以带走泵体的热量,以降低泵体的温度,通过监控组件对出水口处的冷却水进行检测,以便及时发现冷却水的异常情况,避免了因冷却不足而导致真空泵损坏甚至发生安全事故,从而使得真空泵能够安全、有效和长期的运行。
本实用新型一种具有循环冷却水监控组件的真空泵在权利要求书中公布了:1.一种具有循环冷却水监控组件的真空泵,其特征在于,包括: 泵体,所述泵体上设置有进水口和出水口,所述进水口用于供冷却水进入所述泵体,所述出水口用于供所述冷却水离开所述泵体,所述冷却水用于带走所述泵体的热量; 监控组件,所述监控组件包括流量温度检测部和压力检测部,所述流量温度检测部和所述压力检测部靠近所述出水口设置,所述流量温度检测部用于检测所述出水口处的冷却水的流量和温度,所述压力检测部用于检测所述出水口处的压力。
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