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龙图腾网获悉无锡明松科技有限公司申请的专利一种用于曝光机平面载板的校正修复方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119620557B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411806450.X，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种用于曝光机平面载板的校正修复方法及装置是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-12-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于曝光机平面载板的校正修复方法及装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于曝光机平面载板的校正修复方法及装置，本发明涉及曝光机技术领域；包括扫描曝光机平面载板，并获取曝光机平面载板的待修复位置；将校正修复装置移动至待修复位置；对待修复位置的凸点按照预设孔径进行钻孔，同时收集钻孔时产生的废料和灰尘；将更换件送至待修复位置对应钻孔的正上方并按压至钻孔内；修复完成后，进行重新扫描复检。本发明可以迅速定位并修复曝光机平面载板上的凸点问题，无须整体拆卸，修复耗时短，修复效率高；在钻孔过程中及时收集废料和灰尘，避免对工作环境和设备的污染，不必要更换整个平面载板，降低了修复成本，并有助于提升设备的使用寿命和稳定性。

本发明授权一种用于曝光机平面载板的校正修复方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种用于曝光机平面载板的校正修复方法，其特征在于，包括以下步骤： 扫描曝光机平面载板（9），并获取曝光机平面载板（9）待修复位置； 将校正修复装置移动至待修复位置； 对待修复位置进行修复；具体过程为： 对待修复位置的凸点按照预设孔径进行钻孔，同时收集钻孔时产生的废料和灰尘； 将更换件（8）送至待修复位置对应钻孔的正上方并按压至钻孔内； 对待修复位置的凸点按照预设孔径进行钻孔，同时收集钻孔时产生的废料和灰尘的具体过程为： 将两条Y向位移组件（1）分别安装在曝光机平面载板（9）两侧，然后通过Z向位移组件（3）将扫描单元（5）送至曝光机平面载板（9）上方对应位置，然后通过两条Y向位移组件和X向位移组件（2）带动扫描单元（5）运动，使扫描单元（5）对曝光机平面载板（9）进行平面扫描，并记录待修复位置，扫描完成后，依次将激光钻孔组件（4）移动至待修复位置相应位置，然后通过激光器（41）对待修复位置的凸点进行激光钻孔，同时激光将凸点气化得到废料和灰尘，然后通过吸尘器将吸尘罩（42）内部的废料和灰尘经吸尘管（43）吸出；钻孔完成后，将激光钻孔组件（4）从Z向位移组件（3）上拆除并将压入组件（6）和送料组件（7）安装在Z向位移组件（3）上，然后通过两条Y向位移组件、X向位移组件（2）和Z向位移组件（3）带动压入组件（6）送至钻孔上方对应位置，然后气缸一（62）工作，气缸一（62）通过活塞杆带动压入端子（63）向下运动，将更换件（8）压入对应的钻孔内，完成修复；然后电机（71）带动送料架（74）旋转，使下个放置有更换件（8）的放料单元（75）位于压入端子（63）正下方；然后没有更换件（8）的放料单元（75）移动至储料通孔（73）的正下方时，储料通孔（73）内部的更换件（8）落入放料单元（75），进行下一次修复； 修复完成后，进行重新扫描复检。

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