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龙图腾网获悉苏州冠礼科技有限公司申请的专利一种多尺寸晶圆清洗干燥用分离装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119650476B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411827623.6，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种多尺寸晶圆清洗干燥用分离装置及方法是由黄自柯;纪心宇;丁文标;高峰;汪恺;张雨设计研发完成，并于2024-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种多尺寸晶圆清洗干燥用分离装置及方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种多尺寸晶圆清洗干燥用分离装置及方法，装置包括载具移动组件、刀具移动组件、直线驱动组件和凸轮连杆组件。载具移动组件包括连接平台和设置在连接平台下方且用于承载不同尺寸载具的承载平台，连接平台和承载平台之间设有第一推动机构。刀具移动组件包括设置在连接平台上方的第一分离平台和设置在第一分离平台上方的第二分离平台，第一分离平台上设有用于分离大尺寸晶圆的第一刀具，第二分离平台上设有用于分离小尺寸晶圆的第二刀具，第一分离平台和第二分离平台之间设有第二推动机构。直线驱动组件与第二分离平台连接。凸轮连杆组件设置在直线驱动组件上，用于配合直线驱动组件带动载具移动组件和刀具移动组件沿竖向往复移动。

本发明授权一种多尺寸晶圆清洗干燥用分离装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种多尺寸晶圆清洗干燥用分离装置，其特征在于，包括： 载具移动组件，包括连接平台和设置在所述连接平台下方的承载平台，所述承载平台用于承载可拆卸的不同尺寸的载具，所述连接平台和所述承载平台之间设置有第一推动机构； 刀具移动组件，包括设置在所述连接平台上方的第一分离平台和设置在所述第一分离平台上方的第二分离平台，所述第一分离平台上设置有用于分离大尺寸晶圆的第一刀具，所述第二分离平台上设置有用于分离小尺寸晶圆的第二刀具，所述第一分离平台和所述第二分离平台之间设置有第二推动机构； 直线驱动组件，与所述第二分离平台连接，所述直线驱动组件包括支撑架、设置在所述支撑架上的立式丝杠以及立式导轨，所述立式丝杠与所述第二分离平台连接，所述承载平台、所述连接平台、所述第一分离平台和所述第二分离平台由下到上依次可滑动的设置在所述立式导轨上； 凸轮连杆组件，设置在所述直线驱动组件上，用于与所述直线驱动组件配合以带动所述载具移动组件和所述刀具移动组件沿竖向往复移动，所述凸轮连杆组件包括： 凸轮板，设置在所述支撑架上，所述凸轮板侧部边缘分为竖直结构的同步段和弧形结构的分离段； 第一连杆，所述第一连杆一端与所述第二分离平台转动连接； 第二连杆，所述第二连杆一端与所述连接平台转动连接，所述第二连杆另一端与所述第一连杆另一端转动连接； 惰轮，设置在所述第一连杆和所述第二连杆连接处，且可滚动的设置在所述凸轮板侧部边缘处； 所述凸轮连杆组件设置成在所述惰轮位于所述同步段时，配合所述直线驱动组件带动所述载具移动组件和所述刀具移动组件同步向上移动； 在所述惰轮位于所述分离段时，配合所述直线驱动组件带动所述刀具移动组件向上移动以对晶圆和载具进行分离。

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