苏州冠礼科技有限公司黄自柯获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州冠礼科技有限公司申请的专利一种用于晶圆蚀刻的药液循环系统及蚀刻设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119725164B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411838441.9，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种用于晶圆蚀刻的药液循环系统及蚀刻设备是由黄自柯;丁文标;丁剑;贺竣设计研发完成，并于2024-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶圆蚀刻的药液循环系统及蚀刻设备在说明书摘要公布了：本发明涉及一种用于晶圆蚀刻的药液循环系统及蚀刻设备，该药液循环系统包括混合配酸模组、制程循环模组和药液回收模组。混合配酸模组包括细长结构的原液槽以及与原液槽连接的配酸槽，原液槽进口处设置有压力氮气入口。制程循环模组包括与配酸槽出口连接的制程槽、与制程槽出口连接且其末端回流至制程槽内的大循环管路、多个与大循环管路连接且其末端回流至制程槽内的小循环管路以及多个制程腔体，小循环管路与对应的制程腔体连接且其末端设置有稳压阀。药液回收模组包括两个回收槽以及设置在回收槽和配酸槽之间的回收管路，单个回收槽进口分别与多个制程腔体连接且进口处设置有压力氮气入口。
本发明授权一种用于晶圆蚀刻的药液循环系统及蚀刻设备在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆蚀刻的药液循环系统，其特征在于，包括： 混合配酸模组，包括细长结构的原液槽以及与所述原液槽连接的配酸槽，所述原液槽进口处设置有用于压力输送和干燥自清洁的压力氮气入口； 制程循环模组，包括制程槽、大循环管路、多个小循环管路以及多个与所述小循环管路对应的制程腔体，所述制程槽与所述配酸槽出口连接，所述大循环管路与所述制程槽出口连接且其末端回流至所述制程槽内，所述小循环管路与所述大循环管路连接且其末端回流至所述制程槽内，所述小循环管路与对应的所述制程腔体连接以向所述制程腔体提供药液，所述小循环管路末端设置有稳压阀； 药液回收模组，包括两个回收槽以及回收管路，单个所述回收槽进口分别与多个所述制程腔体连接，单个所述回收槽进口处设置有所述压力氮气入口，所述回收管路输入端与两个所述回收槽出口连接，所述回收管路输出端与所述配酸槽进口连接。
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