北京科技大学杨小佳获国家专利权
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龙图腾网获悉北京科技大学申请的专利一种硅-金属复合MEMS材料大气腐蚀传感器及其制备方法和材料大气腐蚀检测设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119666717B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411875662.3，技术领域涉及：G01N17/02；该发明授权一种硅-金属复合MEMS材料大气腐蚀传感器及其制备方法和材料大气腐蚀检测设备是由杨小佳;李清;朱仁政;王昕煜;卫达设计研发完成，并于2024-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅-金属复合MEMS材料大气腐蚀传感器及其制备方法和材料大气腐蚀检测设备在说明书摘要公布了：本申请提供一种硅‑金属复合MEMS材料大气腐蚀传感器及其制备方法和材料大气腐蚀检测设备，涉及材料腐蚀传感器领域。硅‑金属复合MEMS材料大气腐蚀传感器包括阴阳极模块和空腔结构模块；所述阴阳极模块包括第一衬底和设置在所述第一衬底表面的、各自独立的金属阳极和金属阴极；所述空腔结构模块包括第二衬底，所述第二衬底设置有凹陷部和用于与测试环境大气连通的通孔，所述凹陷部自所述第二衬底的第一侧向相对的第二侧延伸，通孔自第二侧的表面延伸至所述凹陷部的底部；所述第二侧的表面与所述第一衬底的表面抵接，且所述金属阴极和所述金属阳极设置在所述凹陷部内。本申请提供的传感器，灵敏度、可靠性和一致性好。
本发明授权一种硅-金属复合MEMS材料大气腐蚀传感器及其制备方法和材料大气腐蚀检测设备在权利要求书中公布了：1.一种硅-金属复合MEMS材料大气腐蚀传感器，其特征在于，包括阴阳极模块和空腔结构模块； 所述阴阳极模块包括第一衬底和设置在所述第一衬底表面的、各自独立的金属阳极和金属阴极； 所述空腔结构模块包括第二衬底，所述第二衬底设置有凹陷部和用于与测试环境大气连通的通孔，所述凹陷部自所述第二衬底的第一侧向相对的第二侧延伸，所述通孔自所述第二侧的表面延伸至所述凹陷部的底部； 所述第二侧的表面与所述第一衬底的表面抵接，且所述金属阴极和所述金属阳极设置在所述凹陷部内； 所述金属阳极的材料为待测金属材料，所述金属阴极的材料与所述待测金属材料耦合； 所述金属阳极和所述金属阴极的间距为10-100μm。
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