深圳新声半导体有限公司梁骥获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳新声半导体有限公司申请的专利一种抑制横模的薄膜表面声波滤波器及其制作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119543882B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510091008.1，技术领域涉及：H03H9/64；该发明授权一种抑制横模的薄膜表面声波滤波器及其制作方法是由梁骥;邹洁;冯端;高海婷;张琪设计研发完成，并于2025-01-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种抑制横模的薄膜表面声波滤波器及其制作方法在说明书摘要公布了：本申请公开了一种抑制横模的薄膜表面声波滤波器及其制作方法。涉及滤波技术领域。其中，抑制横模的薄膜表面声波滤波器中的叉指电极结构设置于压电薄膜层远离衬底的一侧，横模抑制电极结构则被巧妙地设置于压电薄膜层和衬底之间，充分利用了薄膜表面声波滤波器中原有的压电薄膜层作为横模抑制电极与叉指电极的隔离层，无需额外添加隔离层，也确保了叉指电极与压电薄膜层之间的紧密距离，避免了因距离增加而对滤波器滤波效果产生的负面效应。并且，横模抑制电极结构在垂直于压电薄膜层的主表面的方向上至少与多个叉指电极的自由端交叠，从而改变薄膜表面声波滤波器横向传播的声速场，有效的抑制横模，提高了薄膜表面声波滤波器的横模抑制能力。
本发明授权一种抑制横模的薄膜表面声波滤波器及其制作方法在权利要求书中公布了：1.一种抑制横模的薄膜表面声波滤波器，包括衬底、压电薄膜层和叉指电极结构；所述压电薄膜层形成于所述衬底上；所述叉指电极结构设置于所述压电薄膜层远离所述衬底的一侧，包括电极引出部和沿第一方向延伸且沿与所述第一方向相交的第二方向交替排列的多个叉指电极，所述叉指电极的一端为自由端，所述叉指电极的另一端与所述电极引出部连接；其特征在于： 还包括横模抑制电极结构，设置于所述压电薄膜层和所述衬底之间，并且所述横模抑制电极结构的至少一部分在垂直于所述压电薄膜层的主表面的第三方向上与所述多个叉指电极的自由端交叠；其中，所述压电薄膜层复用为所述横模抑制电极结构与所述叉指电极结构的隔离层。
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