买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉杭氧集团股份有限公司;邓波申请的专利一种从半导体制程尾气中回收氦气的装置系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119838374B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510330533.4，技术领域涉及：B01D53/22；该发明授权一种从半导体制程尾气中回收氦气的装置系统及方法是由盛文龙;邓波;韩小磊;沈昕悦;张成雄;夏雨涵;姜文瀚;朱程浩;袁士豪;李冬锋设计研发完成，并于2025-03-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种从半导体制程尾气中回收氦气的装置系统及方法在说明书摘要公布了：本发明属于尾气处理技术领域，涉及一种从半导体制程尾气中回收氦气的装置系统及方法，通过采用吸附装置、膜分离组件以及气体提纯塔的复合装置系统，能够完成含毒、腐蚀、多种稀有气体混合工况的低浓度氦气回收和提纯操作，可以将回收后的氦气提纯至99.999%以上，回收率高、纯度高且充分利用前后气体换热，能耗较低，进一步拓宽了氦气供给来源；所述装置系统全程无气体排空，均回流、收集以及排放回尾气管道中，适用于半导体各种制程。

本发明授权一种从半导体制程尾气中回收氦气的装置系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种从半导体制程尾气中回收氦气的方法，其特征在于，所述的从半导体制程尾气中回收氦气的方法采用从半导体制程中回收氦气的装置系统进行； 所述装置系统包括尾气主管道，所述尾气主管道的支路上沿尾气流向依次连接有第一压缩机、一级并联吸附柱、二级串联吸附柱、膜分离组件、气体提纯塔、第二压缩机以及氦气储存装置；所述一级并联吸附柱与气体提纯塔排出的废气分别独立地流入所述支路之后的尾气主管道； 所述膜分离组件包括依次串联的第一分离膜组与第二分离膜组； 所述二级串联吸附柱与第一分离膜组之间的管路上依次设置有PLC控制的氦浓度检测三通阀、电加热器以及气动阀，所述氦浓度检测三通阀与所述支路之后的尾气主管道连通； 所述第一分离膜组的渗透侧气体流经第一缓冲装置后进入所述气体提纯塔，所述第二分离膜组的渗透侧气体流经第二缓冲装置后回流至所述支路之前的尾气主管道； 所述气体提纯塔包括深冷塔； 所述的从半导体制程尾气中回收氦气的方法包括如下步骤： （1）尾气主管道中的半导体制程尾气进入支路，依次经过第一压缩处理与第一吸附除杂，得到第一吸附除杂气体与第一废气；所得第一废气流入支路以后的尾气主管道进行后处理； （2）对步骤（1）所得第一吸附除杂气体进行第二吸附除杂，所得第二吸附除杂气体经过第一膜分离处理，得到渗透侧气体与渗余侧气体；对所得渗透侧气体进行气体提纯，得到氦气与第二废气；所得第二废气流入支路以后的尾气主管道进行后处理，所得氦气经过第二压缩处理后进行储存； （3）对步骤（2）所得渗余侧气体进行第二膜分离处理，得到的渗透侧气体回流与尾气主管道中的半导体制程尾气混合，得到的渗余侧气体流入支路以后的尾气主管道进行后处理； 步骤（2）所述第二吸附除杂气体进行第一膜分离处理之前，还包括依次进行的与第二膜分离处理所得渗余侧气体进行第三换热、氦浓度检测以及加热的步骤； 所述氦浓度检测中，经第三换热的第二吸附除杂气体氦浓度低于目标要求浓度时，流入支路以后的尾气主管道进行后处理。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人杭氧集团股份有限公司;邓波，其通讯地址为：311305 浙江省杭州市临安区青山湖街道相府路799号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。